ГОСТ Р 52250—2004
3.1.20
_______________________________________________________________________________________
параметр продукции: Признак продукции, количественно характеризующий любые ее свойст
ва и состояния.
[ГОСТ 15467—79, статья 6]
___________________________________________________________________
3.1.21
контролируемая партия продукции: Определенное числоединицпродукции, материала иуслуг,
собранных вместе и представленных для испытаний.
П р и м е ч а н и е — Контролируемая партия может состоять из нескольких производственных партий или
частей производственных партий.
[ГОСТ Р 50779.11—2000, статья 1.3.51
__________________________________________________________
3.1.22 контролируемая партия резиста: Резист одной марки, произведенный за один техноло
гический цикл и оформленный одним сопроводительным документом.
3.1.23 проба: Количество нештучной продукции, отобранное из контролируемой совокупности
для принятия решения.
3.1.24 точечная проба резиста: Одна из проб, взятых одновременно в разныхточках и наразных
уровнях объема резиста.
3.1.25 средняя проба: Проба требуемого объема или массы, необходимой для проведения
испытаний, полученная определенным способом из объединенной пробы после ее перемешивания.
3.1.26 объединенная проба: Проба, состоящая из нескольких точечных проб.
3.2 В настоящем стандарте применяют следующие сокращения:
- ИК-печь — печь с нагревом инфракрасным излучением;
- ИС — интегральные микросхемы,
- НХД-группа — нафтохинондиазидная группа;
- ОТУ — общие технические условия;
- ПЗ — представитель заказчика;
- ПИ — программа испытаний;
- ПП — полупроводниковые приборы;
- СК — система качества;
- СКК — служба контроля качества;
- ТД — технологическая документация;
- ТЗ — техническое задание.
4 Классификация и основные параметры
4.1 Классификация
4.1.1 Резисты относятся к подклассу вспомогательных химических материалов класса специаль
ных материалов электронной техники, непосредственно контактирующих в процессе производства
(литографии) с деталями изделий электронной техники (ПП и ИС).
4.1.2 По чувствительности к виду излучения применяемые резисты подразделяют на;
- фоторезисты;
- электронорезисты.
4.1.3 По реакции на воздействие излучения резисты подразделяют на:
- позитивные:
- негативные.
4.2 Основные параметры резистов должны соответствовать нормам, установленным в ТУ на
резисты конкретных марок.
К основным параметрам резистов относят:
- чувствительность к излучению;
- разрешающую способность;
- устойчивость к проявителю.
4.3 Условное обозначение резиста при заказе и в технической документации на ИС и ПП должно
включать обозначения:
- вида резиста, определяемого используемым излучением при экспонировании и реакцией на его
воздействие;
3