ГОСТ Р 52250—2004
- марки резиста, характеризуемой составом параметров и их значениями;
- ТУ на марку резиста согласно ГОСТ 2.114.
П р и м е р ы у с л о в н ы х о б о зна ч е ний ;
Фоторезист (Ф). позитивный (П), марки 9120-1. поставляемый по ТУ 2496-121-00210134—96;
ФП-9120-1 ТУ 2496-121-00210134—96
Фоторезист (Ф). негативный (Н). марки 788. поставляемый по ТУ 2496-36-00210134— 95;
ФН-788 ТУ 2496-36-00210134—95
Электронорезист (ЭР), позитивный (П). марки 51, поставляемый по ТУ 2496-153-53126462—98;
ЭРП-51 ТУ 2496-153-53126462—98
Электронорезист (ЭР), негативный (Н), марки 16. поставляемый по ТУ 2496-221-53126462—99:
ЭРН-16 ТУ2496-221-53126462—99
5Технические требования
5.1 Общие требования
5.1.1 Резисты должны быть изготовлены в соответствии с требованиями настоящего стандарта и
ТУ на резисты конкретных марок по ТД. утвержденной в установленном порядке.
5.1.2 Перед нанесением слоя резиста подложка должна быть подготовлена в соответствии с
требованиями ТД.
5.1.3 Нанесение резиста должно производиться в полном соответствии с техническими требова
ниями и режимами, устанавливаемыми в ТУ или инструкции по применению.
5.2 Требования к внешнему виду
5.2.1 Резист должен представлять собой прозрачную жидкость без осадка, не содержащую посто
ронних включений.
Цвет резиста должен быть одинаковым по всему объему жидкости и соответствовать цвету,
устанавливаемому в ТУ.
5.2.2 Пленка резиста, нанесенная на подложку, должна быть сплошной, прозрачной, блестящей,
без разрывов, пузырей, отслоений и вздутий.
5.3 Требования к параметрам резистов
5.3.1Состав параметров резистов, контролируемых в процессе приемки и поставки, устанавлива
ют в ТУ в соответствии с таблицей 1.
Т а б л и ц а 1— Состав параметров резистов
Параметр резиста
Применение
Единица
измерения
Способ
задания норм
Массовая доля сухого остатка %
Массовая доля воды %
ДП
Все резисты
вп Кроме водорастворимых
фоторезистов
Массоваядоля НХД-rpynn в пересчете на сухой остаток
%
ДП Фоторезисты на основе
НХД-групп
Массовая доля микропримесей металлов%
Фильтруемость г-1
Кинематическая вязкость мм2/с
Толщина пленки мкм
Количество микровключений в пленке резиста шт.
Микронеровность поверхности пленки
А
Разрешающая способность пленкимкм
впВсе резисты
вп То же
ДП
»
HP »
вп »
вп
»
HPФоторезисты
Чувствительность пленки к ахтиничному световомуТо же
потоку мДж/см2 вп
Чувствительность пленки к потоку электронов
Коэффициент контрастности (гамма-контраст)
Спектральная чувствительность пленки
Кш’см2 вп
—
HP
нмДП
Электронорезисты
Фоторезисты
То же
4