ГОСТ Р 52250—2004
Послереализации мероприятий СККсовместнос ПЗ (при приемке заказчиком) проводят испытания
на сохраняемость для подтверждения заданного срока сохраняемости.
При получении положительных результатов испытаний на сохраняемостьони информируют потре
бителей о достижении заданного срока сохраняемости.
7.2.5.10 Результаты испытаний оформляют протоколом.
7.2.6 Типовые испытания
7.2.6.1 Типовые испытания проводят по правилам, установленным в НД на материалы электрон
ной техники и/или заказчиком.
8 Методы контроля
8.1Общие положения
8.1.1 Испытания резистов проводят в соответствии с общими указаниями ГОСТ 27025.
8.1.2 Испытания резистов проводят в нормальных климатических условиях, определяемых следу
ющими значениями климатических факторов:
- температура воздуха от 15 X до 35 °С;
- относительная влажность от 45 % до 75 %:
- атмосферное давление от 86 до 106 кПа.
Примечание — Притемпературевыше30"Сотносительнаявлажностьвоздуханедолжнапревышать70%.
8.1.3 Отбор проб и испытания фоторезиста следует проводить при неактиничном освещении,
оберегая его от воздействия дневного света, света люминесцентных ламп и ламп накаливания, если
иные условия испытаний не установлены в соответствующем методе.
Неактиничным является освощение. фильтрованное через оранжевое или красное органическое
стекло по ГОСТ 17622 толщиной 4—5 мм или полученное иным способом, устанавливаемым в ТУ.
Требования к освещению при контроле электронорезистов устанавливают в ТУ.
8.1.4 При испытаниях резистов следует применять методы, приведенные в настоящем разделе.
Примечание —Допускается посогласованиюс заказчикомлили потребителем применять иные методы
контроля резистов, в том числе установленныестандартами зарубежныхобъединений и фирм(SEMI.ASTM идр.}.
8.1.5 Средства измерений и испытательная аппаратура должны обеспечивать точность измере
ний. испытаний и расчетов, установленную в настоящем стандарте и ТУ.
8.1.6 Для контроля пленки резиста ее формируют на специально подготовленных пластинах,
используемых в качестве подложки.
Материал пластин, требования к подготовке их поверхности для нанесения резиста, способы и
режимы формирования пленки резиста определенной толщины на пластинах, применяемые оборудо
вание. оснастку и используемые вспомогательные материалы указывают в ТУ.
8.2Контроль внешнего вида
Внешний вид резиста контролируют визуально в проходящем дневном сеете или сеете люмине
сцентных ламп дневного или голубого свечения при освещенности не менее 200 лк.
8.2.1 Применяемую лабораторную посуду указывают в ТУ.
8.2.2 Проведение испытания
5—7 см3 резиста через воронку наливают в прозрачный стеклянный цилиндр и рассматривают в
проходящем сеете.
Внешний вид резиста должен соответствовать требованиям, устанавливаемым в ТУ.
Примечание — При необходимости в процессе контроля применяют увеличительные средства (лупы,
очки, микроскопы и т.п.) сувеличением, указываемым вТУ.
8.3Контроль фильтруемости
8.3.1 Фильтруемость резиста определяют методом измерения уменьшения скорости истечения
резиста через мембранный фильтр при постоянном давлении фильтрования.
8.3.2 Применяемое оборудование (устройство для фильтрования резиста, фильтродержатель.
стабилизатордавления), фильтры, средства измерения (весы, секундомер, манометр), посуду, реактивы
указывают в ТУ.
8.3.3 Подготовка к испытанию
8.3.3.1Соединяют фильтродержатель и устройство для фильтрования резиста в соответствии со
схемой, указываемой в ТУ. промывают органическим растворителем, марку которого приводят в ТУ. и
сушат путем пропускания азота в течение 5—10 мин. Давление азота указывают в ТУ.
15