ГОСТ 31585-2012
Приложение В
(справочное)
Метод проверки загрязнения ОИР невидимыми микрочастицами
В.1 Общие требования
Метод проверки заключается в проведении оценки ОИР на наличие
невидимых микрочастиц с помощью устройства электронной системы
подсчета микрочастиц по ослаблению света.
В.2 Требования к оборудованию и вспомогательным устройствам
В.2.1 Общие требования
В.2.1.1 Устройство представляет собой электронную систему подсчета
микрочастиц, взвешенных в растворе, обеспечивающую соответствующую подачу
ОИР, в которой должен быть установлен датчик ослабления света, например,
типа KL-04. фирма RION.
В.2.2 Требования к пределу измерения концентрации датчика
В.2.2.1 Используемоеустройстводолжноиметьпределизмерения
концентрации максимального числа определяемых микрочастиц на миллилитр,
который превышал бы предполагаемую концентрацию микрочастиц в испытуемом
ОИР.
Предел измерения концентрации устройства указывается уровнем подсчета
микрочастиц, при котором совпадающий счет вследствие одновременного
присутствия двух или более микрочастиц в просматриваемом объеме датчика
ослабления света составляет менее 10 % подсчетов, суммированных для
микрочастиц размерами 10 мкм. Предел измерения концентрации микрочастиц
должен быть указан в паспорте устройства.
В.2.3 Требования к динамическому диапазону датчика
В.2.3.1 Динамический диапазон датчика должен охватывать наименьший
размер микрочастиц, которые подлежат подсчету в испытуемом ОИР.
В.2.4 Требования к воде
В.2.4.1 Используемая вода должна быть пропущена через пористый
фильтр для очистки ее от микрочастиц. Размеры пор фильтра должны быть не
более 1,2 мкм.
В.2.5 Требования к калибровке
В.2.5.1 Устройствокалибруютпонаборусферическихмикрочастиц
17