ГОСТ Р 8.698—2010
3.37 доверительные границы погрешности (результата измерений): Наибольшее и наимень
шее значения погрешности измерений, ограничивающие интервал, внутри которого с заданной вероят
ностью находится искомое (истинное) значение погрешности результата измерений [1].
4 Требования к погрешности измерений
4.1 Пределы допускаемой относительной погрешности измерений максимальных размеров нано
частиц в монодисперсной системенедолжны бытьболееi 10% придоверительной вероятности Р =0.95.
4.2 Пределы допускаемой относительной погрешности измерений электронных радиусов инер
ции наночастиц в монодисперсной системе не должны быть более * 10 % при доверительной вероят
ности Р = 0,95.
4.3 Пределы допускаемой относительной погрешности измерений значений функции распреде
ления по размерам наночастиц в полидисперсной системе не должны быть более ♦ 15 % при довери
тельной вероятности Р = 0.95.
4.4 Пределы допускаемой относительной погрешности измерений межслоевого периода и тол
щины пленки не должны быть более ±4% при доверительной вероятности Р = 0.95.
5 Средства измерений и вспомогательные устройства
При проведении измерений применяют следующие средства измерений и вспомогательные
устройства.
5.1 Автоматический малоугловой рентгеновский дифрактометр
Автоматический малоугловой рентгеновский дифрактометр (далее — дифрактометр) должен
включать в себя следующие устройства.
- источник рентгеновского излучения с длиной волны от 0,07 до 0,25 им;
- блок монохроматизации пучка рентгеновского излучения;
- блок коллимации рентгеновского пучка (далее — коллиматор), размещенный перед держате
лем образца;
- сменныедержатели образца, конструкция которых обеспечивает закрепление образца в рентге
новском пучке для двух типов измерений;
а) измерение в режиме «на прохождение».
б) измерение в режиме «на отражение от поверхности»;
- ловушка первичного пучка, расположенная непосредственно перед детектором, изготовлен
ная из материала, существенно поглощающего рентгеновское излучение (например, вольфрам, тан
тал и другие), и управляемая по высоте вручную или с помощью программного обеспечения
диф рактометра;
- вакуумная камера с входным окном, расположенным непосредственно перед образцом (относи
тельно направления распространения пучка рентгеновского излучения), и выходным окном, располо
женным вплотную к плоскости детектора. Входное и выходное окна должны быть герметизированы
пленкой из полиэтилентерефталата толщиной (0.03 i.0.01) мм или бериллиевой пластиной толщиной от
0.5 до 2 мм. Камера должна быть оснащена вакуумным насосом для создания давления не более 100
Па.
П р и м е ч а н и е — Вакуумная камера и детектор могут быть выполнены а виде единого блока. В этом слу
чае разделяющее их окно отсутствует. Держатель образца может быть размещен внутри вакуумной камеры, в этом
случав коллиматор также должен быть размещен внутри вакуумной камеры перед держателем;
- линейный позиционно-чувствительный детектор (далее — детектор), позволяющий регистриро
ватьчисло квантов рассеянного излучения за определенный период времени в зависимости от угла рас
сеяния.
П р и м е ч а н и я
1 Входное окно детектора должно быть расположено так. чтобы рассеянное или отраженное рентгеновское
излучение регистрировалось а вертикальной плоскости.
2 Допускается использовать также другие типы позиционно-чувствительных детекторов (например, двумер
ных) с соответствующим программным обеспечением, позволяющим рассчитывать кривые малоуглового рентге
новского рассеяния по результатам измерений.
5