ГОСТ Р 8.698—2010
где q— значение в единицах модуля вектора рассеяния угловой координаты л-го брегговского пика
на к-й кривой рассеяния, определенное по 11.2.1.1, нм ’;
К — число повторно измеренных кривых рассеяния в режиме «на отражение от поверхности»,
установленное по 10.3.6;
N’ — число брегговских пиков на кривой рассеяния, определенное по 11.2.1.1.
11.2.1.3Вычисляют среднеквадратическую погрешность ст^8>. н м \ среднеарифметического зна
чения угловой координаты л-ro брегговского пика (л = 1. 2
.....
ЛГ), по формуле
а
(В>
К-1___________
О
1
К(К -1)
где q— значение угла в единицах модуля вектора рассеяния л-го брегговского пика на к-й кривой
рассеяния, определенное по 11.2.1.1, нм-’;
qjtB)
— среднеарифметическое значение угла, соответствующего положению брегговского пика с
порядковым номером л. вычисленное по 11.2.1.2, нм-1;
К — число повторно измеренных кривых рассеяния в режиме «на отражение от поверхности»,
установленное по 10.3.6;
N’ — число брегговских пиков на кривой рассеяния, определенное по 11.2.1.1.
11.2.1.4 Вычисляют период повторения d, нм. по формуле
d =
2л
Г,(п<в>)2
nq
(в)
где л — порядковый номер брегговского пика на кривой рассеяния (л = 1, 2
.....
ЛГ);
ЛГ — число брегговских пиков на кривой рассеяния, определенное по 11.2.1.1;
q jf1— среднеарифметическое значение угла, соответствующего положению брегговского пика с по
рядковым номером л, вычисленное по 11.2.1.2. нм 1;
а ^ — среднеквадратическая погрешность среднеарифметического значения угла, соответствующе
го положению брегговского пика с порядковым номером л. вычисленная по 11.2.1.3. нм’1.
11.2.2 Толщину пленки оценивают одним из следующих способов.
11.2.2.1При отсутствии осцилляций Киссига накривыхрассеяния, измеренных по 10.3.6, толщину
пленки L, нм, вычисляют на основании априорной информации о числе идентичных слоев пленки по
формуле
L = Zd.
где Z — число идентичных слоев в исследуемой пленке;
d — значение периода повторения слоев, вычисленное по 11.2.1, нм.
П р и м е ч а н и я
1 Отсутствие на кривых рассеяния осцилляций Киссига свидетельствует о невысоком качестве (ступенча
тости. шероховатости, дефектности и т. л.) поверхности пленки или о ее предельно большой толщине.
2 Относительно реальной толщины пленки вычисленное значение L может оказаться какзаниженным (в слу
чае наличия в пленке кроме слоевых ячеек повторения дополнительных над- и подслоев), так и завышенным (из-за
сокращения реального числа слоев в приготовленной пленке при переносе на подложку). В этом случае необходи
мо провести дополнительный анализ косвенных данных о структуре пленки для подтверждения адекватности полу
ченного результата.
11.2.2.2При наличии на кривых рассеяния осцилляций Киссига толщину пленки вычисляют по по
ложениям на кривой рассеяния максимумов этих осцилляций, выполняя следующие операции:
- для каждой из кривых рассеяния выбирают группу из S >5 последовательных осцилляций Кисси
га. обладающих в среднем максимальной для данной кривой рассеяния амплитудой из всех групп по S
осцилляций Киссига на данной кривой рассеяния;
23