ГОСТ Р 8.698—2010
£(Фсо..л(К)-Ф<*.г<К))2
Щ Н -1)
где Фоо1n(R) — функция распределения поразмерам наночастиц, котораясоответствует h-й из Нсгене
рированных по 12.2.1 кривых рассеяния (Л = 1. 2
.....
И), значения которой вычислены
по 12.2.2;
ФорДЯ) — функция распределения по размерам наночастиц, соответствующая эксперименталь
ным данным по рассеянному рентгеновскому излучению, значения которой вычислены
по 11.1.4.15.
12.2.4 Доверительную границу дФ (R) суммарной погрешности измерения значения оптимальной
функции распределения по размерам, соответствующей экспериментальной кривой рассеяния, вычис
ляют при доверительной вероятности Р = 0,95 по формуле
ДФ(R) = 4.47аф(Р).
где аф(Р) — суммарная погрешность измерения значения оптимальной функции распределения по раз
мерам. соответствующей экспериментальной кривой рассеяния, вычисленная по 12.2.3.нм.
12.2.5 Относительную погрешность%, измерения значения оптимальной функции распре
деления по размерам, соответствующей экспериментальной кривой рассеяния, вычисляютпри довери
тельной вероятности Р = 0.95 по формуле
5,- £ ? W ,0o.
‘ ‘ Ф(R)
где ЛФ(Я) — доверительная граница суммарной погрешности измерения значения оптимальной функ
ции распределения по размерам, соответствующей экспериментальной кривой рассея
ния. вычисленная по 12.2.4;
Ф(R) — функция распределения по размерам наночастиц, соответствующая эксперименталь
ным данным по рассеянному рентгеновскому излучению, значения которой вычислены
по 11.1.4.15.
12.3 Расчет погрешности измерения периода повторения слоев и толщины пленки
12.3.1Вычисляют суммарную погрешность nd,нм. измерения периода повторения слоев в пленке
по формуле
2т
f у" 2
1
1*-1
(°л
<
где п — порядковый номер брегговского пика на кривой рассеяния, п = 1. 2
.....
N’:
d — значение периода повторения, вычисленное по 11.2.1.4. нм;
о<в>— среднеквадратическая погрешность среднеарифметического значения углад^в\ нм"’,соответ
ствующего положению брегговского пика с порядковым номером п. вычисленная по 11.2.1.3,
нм"1.
12.3.2 Доверительную границу дd, нм. суммарной погрешности измерения периода повторения в
пленке вычисляют при доверительной вероятности Р = 0.95 по формуле
id = 4.47 аа,
где аа— суммарная погрешность измерения межслоевого периода впленке, вычисленная по 12.3.1. нм.
12.3.3 Относительную погрешность%, измерения периода повторения слоев в пленке вычис
ляют при доверительной вероятности Р = 0,95 по формуле
27