ГОСТ Р 8.698—2010
нее 0.3, то образец с системой наночастиц признают непригодным для проведения измерений по
настоящему стандарту.
11.2Обработка результатов измерений, полученных в режиме «на отражение от повер
хности»
11.2.1 Период повторения слоев d в нанометрах в тонких пленках вычисляют по положению брег-
говских пиков на измеренных по 10.3 кривых интенсивности /м = /A(qr.)отраженногоот образца с пленкой
рентгеновского излучения (/ = 1.2
.....
М"\к- 1,2
......
К), для чего выполняют следующие операции.
11.2.1.1 На /с-й кривой рассеяния /А(р;), измеренной по 10.3.6 (к = 1.2
.....
К), определяют значения
угловых координатв нанометрах в минус первой степени всех максимумов интенсивности, соотве
тствующих брегговским пикам (п = 1.2
.....
N’),
где q,— /-е значение угла рассеяния в единицах модуля вектора рассеяния (/=1,2
.....
Л-Г),измеренное
по 10.3.6, нм-’;
К — число повторных измерений в режиме «на отражение от поверхности» кривой рассеянного
рентгеновского излучения, установленное по 10.3.6;
N’ — число брегговских пиков на кривой рассеяния, определенное по настоящему подпункту.
П р и м е ч а н и е — Порядковый номер п брегговского пика на кривой рассеяния отсчитывают, начиная с
нуля. при^*,®> в 0, который неинформативен для анализа и потому исключается из рассмотрения. Расстояния меж
ду соседними брегговскими пиками являются постоянными с погрешностью не более установленных для значений
углов измерений.
Типичный вид кривой рассеяния рентгеновского излучения от поверхности многослойной пленки, полученной
в режиме она отражение от поверхности», изображен на рисунке 1.
/. отн сд
— значения в единицах модуля вектора рассеяния угловых координат бремовсхих пиков кривой рассеяния с
порядковыми номерами 1.2. 3 и 4. соответственно. Стрелками указаны одинаковые угловые расстояния между брегговскими пи
ками. равные 2д/сЛ где d — значение периода повторения слоев в пленке, им. Между брегговскими пиками расположены эквидис
тантные осцилляции Киссига.
Рисунок 1 — Кривая рассеяния рентгеновского излучения от поверхности многослойной пленки,
полученная в режиме «на отражение от поверхности*
11.2.1.2
Вычисляют среднеарифметическое значение q’nB), нм-1, угловых координат броггоеских
ЛГ). используя данные, полученные путем обработки К кривых рассеяния по 11.2.1.1.
пиков (л = 1. 2
по формуле
9
<в>
nh
<в>
*-т
Л
К
22