ГОСТ Р 8.698—2010
где Ad— значение доверительной границы суммарной погрешности измерения периода повторения в
пленке, вычисленное по 12.3.2. нм;
d — значение периода повторения, вычисленное по 11.2.1.4.
12.3.4При наличии на кривых рассеяния, измеренных по 10.3.6, осцилляций Киссига суммарную
погрешность aL, нм. измерения толщины пленки вычисляют по формуле
где L,K— значение толщины пленкидля s-й пары (s = 1,2S -1 ) соседнихосцилляций Киссига на к-й
кривой рассеяния (к = 1, 2,..., К), вычисленное по 11.2.2, нм;
S — число выбранных по 11.2.2.2 последовательных осцилляций Киссига;
К — число повторно измеренных кривых рассеяния в режиме «на отражение от поверхности»,
установленное по 10.3.6.
12.3.5При отсутствии на кривых рассеяния, измеренных по 10.3.6. осцилляций Киссига, можно
вычислить только нижнюю границу суммарной погрешности с^. нм. измерения толщины пленки по фор
муле
где Z — число идентичных слоев в исследуемой пленке, известное априори;
аа— суммарная погрешность измерения периода повторения, вычисленная по 12.3.1. нм.
При этом в последующих вычислениях по настоящему разделу вместо величины aLиспользуют
величину.
12.3.6Доверительную границу AL. нм. суммарной погрешности измерения толщины пленки вы
числяют при доверительной вероятности Р = 0,95 по формуле
где crL— суммарная погрешность измерения толщины пленки, вычисленная по 12.3.4, нм.
12.3.7Относительную погреш ность%. измерениятолщины пленки вычисляют придоверитель
ной вероятности Р = 0,95 по формуле
где AL — значение доверительной границы суммарной погрешности измерения толщины пленки, вы
численное по 12.3.6;
L — значение толщины пленки, вычисленное по 11.2.2.2. нм.
13 Оформление результатов измерений
13.1 Результаты измерений оформляют в виде протокола по форме, принятой на предприятии,
проводившем измерения.
13.2 В протоколе должны быть приведены следующие сведения;
- полное и сокращенное наименование предприятия, проводившего измерения;
- дата проведения измерений.
- основание и цель проведения измерений;
- тип и номер основных средств измерений и вспомогательных устройств;
- данные об условиях проведения измерений (параметрах окружающей среды, показателях ка
чества питающей электрической сети);
- идентификационные данные образцов, характеристики которых подвергались измерениям.
При измерении малоуглового рассеяния в протоколедолжны бытьприведеныследующиезаписи:
Л/. = 4.47at,
^ = _ Ю 0 ,
L
28