Г0СТ1ЕС 61189-3— 2013
последовательно использовать более тонкие полировальники и полировальные составы и полировать в
точение указанных периодов времени:
- алмазный круг £ 6 мкм — 30 с;
- алмазный круг < 3 мкм — 20 с;
- алмазный круг < 1 мкм — 10 с.
Смазочный материал, подходящий для полировки, описан в перечислении с) 12.11.3 настоящего
метода испытания.
После каждой стадии полировки микрошлиф следует промывать подходящим патентованным очища
ющим средством до удаления всех следов алмазной пасты и/или смазочного средства. После сушки
следует выполнить завершающую промывку микрошлифа спиртом.
12.11.4.7 Проверка качества подготовки микрошлифа
После полировки, но до травления, микрошлиф необходимо проверить при 400* увеличении. На по
верхности микрошлифа не должно быть царапин, пятен идругихдефектов, способных затруднять контроль
элементовобразцов.
При необходимости микрошлифы следует подвергнуть повторной шлифовке наждачной бумагой но
меров от 1200 или 2400. а затем повторной полировке в соответствии с 12.11.4.5.
П р и м е ч а н и е — Контроль внутренних переходов до травления образца способен выявить плохое
соединение металлов, осажденных на внутренние слои, а также другие дефекты, которые при последующем
травлении могут быть скрыты.
12.11.4.8 Травление микрошлифа
После первоначального контроля необходимо выполнить травление микрошлифа сцелью выявления
отделения или отсутствия соединения металлов, осажденных на внутренние слои, или трещин фольги внут
ренних слоев. Необходимо выполнить два отдельных процесса травления.
П р и м е ч а н и е — Указанные травильные растворы предназначены для электроосаждеиной меди и
медной фольги внутренних слоев. Травильные растворы имеют ограниченное время хранения и должны гото
виться заново. Для образцов, имеющих электроосажденный материал и материал фольги внутренних слоев,
отличный от меди, могут требоваться другие типы травильного раствора. Травильный раствор следует наносить
только на свежеполированные, очищенные и обезжиренные микрошлифы.
12.11.4.8.1 Трещины фольги на внутренних слоях
Необходимо использовать травильный раствор, описанный в перечислении d) 12.11.3. На суспензию
гамма-глинозема или альфа-глинозема, осажденного на вращающуюся полировальную ткань, необходи
мо нанести несколько капель травильного раствора. Затем легким надавливанием руки микрошлиф следу ет
вращать против направления вращения ткани в течение 10— 15 с. Затем микрошлифы необходимо
промыть водойдля удаления остаточного травильного раствора, затем промытьспиртом и высушить.
Или травильный раствор на микрошлиф можно нанести с помощью ватной палочки, смоченной сус
пензией глимозем’гравильный раствор.
Рекомендуется сначала выполнить легкое травление, а затем для увеличения глубины травления
повторять травление. Перетравления следует избегать, но можно исправить повторной полировкой образца.
12.11.4.8.2 Неисправность переходов внутренних слоев
Необходимо использовать травильный раствор, описанный в 12.11.3. После полировки и промывки
микрошлиф следует погрузить в травильный раствор приблизительно на 1 с (в зависимости от активности
травильного раствора), а затем промыть в воде, спирте и высушить.
Или же, травильный раствор на микрошлиф можно нанести с помощью ватной палочки, смоченной
суспензией глинозем^травильный раствор.
Рекомендуется сначала выполнить легкое травление, а затем для увеличения глубины травления
повторять травление. Перетравления следует избегать, но можно исправить повторной полировкой образца.
12.11.4.9 Проверка
Протравленный микрошлиф необходимо проверить при увеличении 400’ и 1000’.
12.11.5 Протокол
Протоколдолжен содержать (для каждого образца):
a) номер испытания и индекс издания;
b
)дату проведения испытания;
c) идентификационную информацию иописание образцов;
d) количество испытанных образцов;
78