Г0СТ1ЕС 61189-3— 2013
12.6.3 Испытательное оборудование и материалы
Должны быть использованы следующие материалы и испытательное оборудование:
a) устройство для вырезания образцов, фасонно-фрезерный станокили алмазная пила для вырезания
образцов из печатных плат;
b
)крепежное приспособление для крепежа образца во время герметизации;
c) герметизирующий материал, например эпоксидная смола, затвердевающая при комнатной темпе
ратуре;
d) наждачная бумага (например, номера 150—220. 320. 400. 600. 800 и 1200) для грубой и тонкой
шлифовок.
e) алмазная полировальная паста (например, на 6.3.1 мкм) или оксидноалюминиевая полировальная
паста (например, на 5.3,0,5 мкм) для удаления царапин, оставляемых наждачной бумагой;
f) тканьдля полирования полировальной пастой;
д) микроскоп, обеспечивающий увеличение 100* ,250’ ,500’ и 1000 ’.
12.6.3.1 Травильные растворы
12.6.3.1.1 Приготовление раствора гидроксида аммония и перекиси водорода
Добавить 1— 2 см3В к 100 см3А. Размешивать втечение нескольких секунд. Перед использованием
подождать 1 мин.
А — это 14%-ный — 20%-ный гидроксид аммония (по объему);
В — это 30%-ная — 35%-ная перекись водорода (по объему);
Рекомендуется каждый день готовить новый раствор и перед использованием ктравильному раство
рудобавлять несколько капель 30%-ного раствора перекиси водорода.
12.6.3.1.2 Приготовление раствора серной кислоты и перекиси водорода
Добавить 1—2 см3В к 100 см3С. Размешивать в течение нескольких секунд. Перед использованием
подождать 1 мин.
С — это 10%-ная — 20%-ная серная кислота (по объему);
В — это 30%-ная — 35%-ная перекись водорода (по объему):
Рекомендуется каждый день готовить новый раствор и перед использованием ктравильному раство
рудобавлять несколько капель 30%-ного раствора перекиси водорода.
12.6.4 Метод
Выполнить следующие действия:
установить образец на крепежное приспособление и тщательно залить герметизирующим материа
лом, обращая внимание на заполнение отверстий герметизирующим материалом.
На участке, где необходимо измерить толщину металлизации, между герметизирующим материалом
и слоями не должно быть пустот. Воздушные пузыри можно устранить размешиванием, взбалтыванием или
вакуумной дегазацией.
После отвердения образец тщательно отшлифоватьдо плоскости, содержащей точку анализа, с при
менением потока воды, последовательно используя более тонкую наждачную бумагу; в завершении про
шлифовать номером не менее 1200. В случаях, когда необходимо анализировать поперечное сечение,
перпендикулярное к плоскости печатной платы, отполированная плоскость микрошлифа должна быть на
клонена под углом 85°—95° к плоскости печатной платы.
Для исключения попадания частиц на следующих этапах испытания после каждого сеанса шлифова
ния образцы следует промывать.
Прошлифоватьобразец полировальной тканью с использованием пасты, последовательно применяя
более тонкую пасту, с тем, чтобы получить четкий и протоколливый вид точки анализа.
Если необходимо измерить толщину металлизированных сквозных отверстий, диаметр отверстия,
видимого на поперечном сечении, должен быть не менее 90 % фактическогодиаметра отверстия, измерен
ногодо выполнения микрошлифа.
После шлифования, перед визуальной проверкой и измерением размеров протравить образец с при
менением травильного раствора таким образом, чтобы четко были видны границы металлизации.
Визуально проверить образец с помощью микроскопа. Увеличение следует выбирать в соответствии
с проверяемыми характеристиками. Если необходимо измерить размеры, то следует использовать калиб
рованную измерительную систему.
При измерении размеров в фокусе должны быть одновременно обе границы измеряемого узла. При
измерении толщины металлизации наросты, пустоты и трещины не должны приниматься во внимание.
66