ГОСТ Р 55693—2013
5.9.4.10Поясок контактной площадки внутреннего слоя, если он не контролируется альтернатив
ными методами по согласованию между производителем и потребителем, следует измерять с помощью
микрошлифов для определения соответствия таблице 10. как показано на рисунке 10. Измерение вну
треннего пояска контактной площадки проводят от медного покрытия стенки отверстия/лицевой стороны
контактной площадки внутреннего слоя к самому дальнему краю контактной площадки внутреннего слоя.
Если не запрещено потребителем, допустимо использование округлений и каплевидной формы
для создания дополнительной области соединения площадки и проводника для классов 1 и 2. Исполь
зование скруглений или каплевидной формы для продукции класса 3должно подлежать согласованию
между производителем и потребителем.
X ■ для классов 1 и 2 — до 25 мкм,
для класса 3 — до 13 мкм;
Z — для классов 1 и 2 - до 37.5 мкм.
для класса 3 •- до 19.5 мкм
Рисунок 9 — Измерение значения негативного
подтравливания
Рисунок 10 — Измерение значения пояска
контактной площадки внутреннего слоя
Внешние площадки последовательно ламинируемых структур, которые погружаются внутрь, счи
тают внешним слоем, контролируют до дополнительного ламинирования(ий) на соответствие требо
ваниям к поя«у контактной площадки и разрыву и измеряют по микрошлифам после окончательного
ламинирования.
П р и м е ч а н и е — Следует принимать во внимание вращение (поворот) микрошлифа. Совмещение относи
тельно базовой линии может привести к тому, что прямоугольный разрез не будет гарантировать того, что внешний
вид микрошлифа покажет разрыв, если он есть. См. рисунок 11 как пример того, как разрыв может или не может быть
определен на микрошлифе, основанном на вращении. На рисунке видно, что только на вертикальном разрезе М — М
можно определить минимальную ширину проводника.
Рисунок 11 — Пример определения разрыва контактной площадки при использовании микрошлифа
20