ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
2 Концентрация загрязнения поверхности органичес
к
ими веществами (ТОС) составляет 6 1(Xs
г/м2, что соответствует
к
лассу -4 с пределом
к
ласса 10* г/м2. Обозначение этого
к
ласса чистоты:
«ИСО-SCC
к
ласс -4 (ТОС)».
4.4 Перевод массовой концентрации в численную концентрацию атомов
Очень низкие концентрации загрязнений поверхностей оцениваются, как правило, числом моле
кул, атомов или ионов на единице площади (1/м2). Для целей классификации следует выполнить пе
ревод этого числа в массовую концентрацию (r/м2) по формуле
Cscc - М|С^ - " — г 1(2)
где Cscc number — численная концентрация (число молекул атомов или ионов на единице площади
поверхности (1/м2);
CSCc “ массовая концентрация (г/м2);
Л
/, - число Авогадро (6.02-1023молекул/моль);
М - молярная масса пробы атомов, молекул или ионов (г/моль).
На рисунке А.4 приложения А показано соотношение между массовой концентрацией химиче
ских загрязнений на поверхности (г/м2) и численной концентрацией атомов (число атомов/м2) для ти
повых загрязнений.
5 Контрольчистотыповерхностипоконцентрациихимических
загрязнений и проверка соответствия
5.1 Критерии оценки частоты
На рисунке D.2 приложения D показаны методы оценки наличия различных загрязнений с указа
нием методов отбора и анализа проб.
Контроль, выполняемый для оценки соответствия, должен производиться в классифицирован
ной среде, в которой концентрация аэрозольных частиц и химических загрязнений не оказывает
влияние на результаты контроля. Контроль выполняется в соответствии с 5.2.2. Требования к окру
жающей среде, методам контроля и приборам должны быть согласованы между заказчиком и
испол нителем.
В приложении С рассмотрены дополнительные виды контроля, в приложении D — методы кон
троля для оценки соответствия.
Перечень методов контроля не является исчерпывающим, по согласованию между заказчиком и
исполнителем могут применяться другие методы, если их точность сопоставима с типовыми метода ми.
Результаты контроля различными методами даже при их правильном применении могут отличаться,
но быть достоверными. Рекомендуется выполнять повторные проверки, рассматривая их как элемент
статистического анализа.
При оценке высоких уровней чистоты могут наблюдаться резко выделяющиеся необычно высокие
концентрации загрязнений. В этих случаях следует применять специальные методы контроля, указан
ные на рисунке D.4 приложения D.
Следует принять меры по снижению электростатического заряда в зонах контроля, поскольку он
усиливает оседание загрязнений на поверхность. Статический заряд может накапливаться на по
верхностях, не являющихся токопроводящими, заземленными или на которых заряд нейтрализован. Из-
за этого результаты контроля могут различаться.
В приложении D рассмотрены типичные методы контроля чистоты поверхностей по концентра
ции химических загрязнений.
5.2 Протоколы контроля
5.2.1 Общие положения
Соответствие чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений заданному заказ чиком
классу чистоты проверяется путем контроля чистоты и оформления документации (протоколов)
5