ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
Т а б л и ц а 1— Классы чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений (классы HCO-SCC)
Класс
HCO-SCC
Концентрация
г/м*
Концентрация
нг/м*
Концентрация
rfCM*
0
10°
10“
10s
-1
1 0 ’
10"
ю4
- 2
1 0 е
10’
10*
- 3
1 0 *
10е
10*
—4
1 0 *
10*
10’
- 5
1 0 “
ю4
10й
-6
1 0 *
10s
1 0 ’
- 7
1 0 "
10*
1 0 *
-8
1 0 *
10’
1 0 *
-9
1 0 “
10°
1 0 "
-1 0
10 ,0
1 0 ’
1 0 5
-11
10”
1 0 *
1 0 "
-1 2
1 0 **
1 0 *
1 0 "
3