ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
Н А Ц И О Н А
Л
Ь Н Ы ЙС Т А Н Д А Р ТР О С С И Й С К О ЙФ Е Д Е Р А Ц И И
ЧИСТЫЕ ПОМЕЩЕНИЯ И СВЯЗАННЫЕ С НИМИ КОНТРО
Л
ИРУЕМЫЕ СРЕДЫ
Ч а с т ь 10
Классификация чистоты поверхностей
по концентрации химических загрязнений
Cleanrooms and associated controlled environments. Part 10.
Classification of surface cleanliness by chemical concentration
Дата введения — 2015—12—01
1 Область применения
Настоящий стандарт устанавливает систему классификации чистоты поверхностей в чистых по
мещениях по химическим соединениям или элементам, включая молекулы, ионы, атомы и частицы, и
может применяться для всех твердых поверхностей в чистых помещениях и связанных с ними кон
тролируемых средах, например, для стен, потолков, рабочих поверхностей, инструментов и приборов.
П р и м е ч а н и я
1 Стандарт рассматривает только химические свойства частиц без учета их физических свойств. Стандарт
не рассматривает взаимодействие между загрязнениями и поверхностью.
2 Стандарт не рассматривает загрязнения, появляющиеся в ходе технологического процесса, с течением
времени (оседание, старение и пр.), или связанные с деятельностью при проведении процесса (транспортирова
ние. обращение), а также не касается статистических методов контроля качества с целью оценки соответствия.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие стандарты. При да
тированных ссылках применяют только указанную версию стандарта. При недатированных ссылках
необходимо использовать последнее издание документа (включая любые поправки).
ИСО 14644-1:- 1Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды — Часть 1.
Классификация чистоты воздуха по классификации частиц (ISO 14644-1 Cleanrooms and associated
controlled environments — Part 1: Classification of air cleanliness by particle concentration)
ИСО 14644-6 Чистые помещения и связанные с ними контролируемые среды. Термины и опре
деления (ISO 14644-6 Cleanrooms and associated controlled environments — Part 6: Vocabulary)
3 Термины и определения
В настоящем стандарте применены термины и определения по ИСО 14644-6. а также следую
щие термины с соответствующими определениями:
3.1 чистота воздуха по концентрации химических загрязнений; ACC (air cleanliness by chem
ical concentration; ACC): Уровень, выраженный как ИСО класс N. равный максимально допустимой
концентрации данного химического загрязнения или группы загрязнений, выраженной в граммах на
кубический метр (г/м3).
П р и м е ч а н и е — Это определение не включает макромолекулы биологического
*’ Стандарт ИСО 14644-1 находится на стадии пересмотра.
Издание официальное
1