ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
Приложение Е
(справочное)
Протокол контроля чистоты
В таблице Е.1 приведен пример протокола контроля. Возможны другие варианты по согласованию заказчи
ка с поставщиком.
Т а б л и ц а Е.1 — Пример протокола контроля чистоты поверхности по концентрации химических загрязнений
Общие данные
Наименование:
Дата:
Организация (лицо, проводящее контроль):
Заказчик:
Условия окружающей среды/чисгых помещений
Температура:
Относительная влажность:
Места проведения контроля.
Ссылки на стандарты и руководства:
Образец
Данные об оборудовании и его обозначение:
Обозначение объекта контроля:
Подготовка к контролю (фотография и/или эскиз)
Описание эксплуатационных параметров:
Указание точек и методов контроля:
Контрольные приборы
Номер прибора:
Диапазон измерений, разрешающая способность и пределы обнаружения:
Ссылка на сертификат калибровки:
Выполнение контроля
Методы контроля:
Сделанные наблюдения, если необходимо:
Время отбора пробы (образца) и длительность контроля:
Данные о чистоте воздуха по частицам и наночастицам, если необходимо:
Результаты контроля
Полученные величины и^или их анализ:
Осмотр контролируемой поверхности до и после контроля, где это возможно:
28