ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
происхождения, рассматриваемые как частицы.
3.2 категория загрязнений (contaminant category): Общее наименование группы загрязнений со
специфическим негативным воздействием на поверхность при оседании на нее.
3.3 химическое загрязнение (chemical contaminant): Вещество (не частицы), которое может
оказать отрицательное влияние на продукт, процесс или оборудование.
3.4 твердая поверхность (solid surface): Граница между твердой и иной фазой.
3.5 поверхность (surface): Граница между двумя фазами.
П р и м е ч а н и е — Как правило, одна из фаз является твердой, а другая — газом, жидкостью или дру
гой твердой поверхностью.
3.6 чистота поверхности по концентрации химических загрязнений; SCC (surface cleanliness
by chemical concentration. SCC): Состояние поверхности, характеризуемое концентрацией химических
загрязнений на ней.
3.7 класс чистоты поверхности по концентрации химических загрязнений Nscc (surface
cleanliness by chemical concentration class Nscc): Десятичный логарифм концентрации химических за
грязнений поверхности, выраженной г/м2.
4 Классификация
4.1 Принципы установления класса чистоты поверхности в чистых помещениях и
контролируемых средах
Класс обозначается классификационным числом «ИСО-SCC» и задает максимально допусти
мую концентрацию данного химического загрязнения или группы загрязнений. Классификация учиты
вает концентрацию химических загрязнений на поверхности в r/м2. см. формулу (1). Для целей клас
сификации все остальные единицы измерения должны быть приведены к г/м2. При низких концентра
циях загрязнений максимально допустимая концентрация может быть выражена в атомах на квадрат
ный сантиметр, ISO-SCC atovt, по формуле (2).
4.2 Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений
Класс чистоты поверхности по концентрации химических загрязнений обозначается классифи
кационным числом Ns cc, представляющим собой десятичный логарифм концентрации химических
загрязнений Csc c , выраженной в г/м2. Этот класс должен относиться к определенному химическому
загрязнению или группе загрязнений. Допускается устанавливать промежуточную классификацию с
наименьшим интервалом 0,1 от числа Nscc . Соотношение между концентрацией химических загряз
нений Cscc и классификационным числом Nscc определяется формулой:
Cs c c =10Nscc(1)
т-е- Wscc =logl0 Cscc .
Фактическая концентрация химических загрязнений (одним или несколькими веществами) не
должна превышать максимально допустимое значение Сзс с , устанавливаемое по согласованию ме
жду заказчиком и поставщиком. Во всех случаях классификационное число Nscc должно включать знак
«минус».
П р и м е ч а н и я
1 Классификационное число должно сопровождаться описанием согласно 4.3.
2 Порядок пересчета массовой концентрации (г/м2) в численную концентрацию (число атомов, молекул или
ионов на единицу площади) приведен в 4.4.
Классы чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений и соответствующие им
концентрации указаны в таблице 1 и на рисунке 1. Следует учитывать также показатели, перечислен
ные в приложении В. которые могут оказать влияние на классификацию.
2