ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
О
к
ончание таблицы D.1
Метод
Сокра
щенное
обозна
чение
Принцип работы
Получен
ная
имформа-
иия
Чувстви
тельность
Разрешающая
способность
в поперечном
сечении,
тпубиие
Вид
оличествен-
кого
анализа
Типовые
области
применения
Датчик на гкз- SAW
аерхностиых
Прибор, а котором
при конденсации га
Измере
0,01
ип’см’-
ние моле
Гц
Акустическая
волна срав
Тонкаяпленка
осевших на по
акустических зов на пьезоэлектри кулярного иивастся с верхности датчика
волнах ческих кварцевых потока волной ма газообразных за
кристаллах происхотериала из грязнений
дит снижение частолестной кои
ты колебаний данныхцеитрации
кристаллов в линей
ной зависимости час
тоты колебаний от
массы осевших газов
силовой мик
роскоп
Атомно-AFMФормаи
—
Визуальноеизо
размербражение
молекул
Дисперсион SEM-Измерениедлины РаспредеВизуальноеизо
наярентге WDXволны рентгеновско лениебражение
новская спекго излучения эле злемеитоа
троскопия помента с порядковым может
длине волныномером лития: из бытьпо
мерение длины вол лучено со
нырентгеновского вместно с
излучения элементов изображе
с порядковым номе нием
ром больше лития (SEM.
при воздействии на ТЕМ.
образец пучка элек STEMи
тронов(SEM- лр.)
воздейстаия)
П р и м е ч а н и е — Разрешение и чувствительность — два независимых параметра. Разрешение за
висит от концентрации загрязнения на образце. На чувствительность может влиять площадь отбора пробы.
22