ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
в) гибкость (например, возможность быстрого применения метода на различных поверхностях):
f) незначительное изменение поверхности или отсутствие изменений при проведении контроля (например,
отсутствие изменения поверхности при ее увлажнении омывающими жидкостями).
Исходя из этих условий можно выполнить классификацию методов контроля согласно D.2.3 с указанием
областей их применения.
D.2.3 Прямые и косвенные методы контроля
D.2.3.1 Общие положения
Для лучшей оценки чистоты поверхности следует правильно выбрать метод контроля. Методы могут быть:
a) прямыми;
b
) косвенными.
Прямые методы не требуют обработки образцов и. как правило, являются предпочтительными. Обычно
прямые методы менее трудоемки, характеризуются меньшими ошибками и дают результаты с более высокой
воспроизводимостью, чем косвенные методы. Однако для материалов сложного состава и с высокими требова
ниями к отбору проб единственной возможностью может оказаться применение косвенных методов.
D.2.3.2 Методы отбора проб
Химические загрязнения могут быть разделены на три группы:
1) продукт целиком, когда весь загрязненный образец направляется для проведения анализа;
2) проба (образец), отобранная методом осаждения загрязнений, например прямой экспозицией или осаж
дением на седиментационные (индикаторные) диск или пластину.
3) проба (образец), отобранная методом экстракции с материалов, рабочих поверхностей или оборудова
ния с использованием физических средств (например, мазков, скальпелей, липких лент с известным уровнем за
грязнений или экстракцией растворителем).
D.2.3.3 Порядок отбора проб
При анализе продукта целиком (рисунок D.3) могут использоваться влажные исухие методы.
Такой же порядок может применяться при анализе осажденных загрязнений, когда загрязнение смывают с
образца водным раствором ПАВ или растворяют в органическом растворителе. Полученный раствор помещают в
контрольный прибор для проведения косвенного анализа. При «сухом» методе материал разделяют на части и
помещают непосредственно в прибор.
При работе по третьему методу (проба, отобранная методом экстракции) загрязнение переносится на лип
кую ленту или подложку для сканирующего электронного микроскопа, которые помещаются в контрольный при
бор. Для этой цели используются липкие ленты с малой адгезией, которыми обрабатывают поверхность, затем
эти ленты помещаются в чистое герметичное транспортное устройство для передачи влабораторию. Для отбора
пробы должны использоваться перчатки для чистых помещений с низким выделением волокон. В зависимости от
метода экстракции и вида загрязнений анализ может проводиться путем непосредственного помещения в прибор
отобранной физическим путем пробы либо химической или термической обработкой пробы.
D.2.4 Упаковка контрольных образцов (проб)
D.2.4.1 Упаковка образцов для химического анализа
Образцы, которые подлежат анализу за пределами зоны, в которой они отобраны, должны быть упакованы
с выполнением следующих условий:
a) должна быть проведена подготовка в месте взятия образца (отбора пробы). Оператор должен быть одет
в требуемую одежду для чистых поглощений:
b
) при обращении с образцами оператор должен использовать новую пару чистых нитриловых или латекс
ных перчаток для чистых помещений и использовать пинцеты или вакуумные манипуляторы;
c) если предусмотрено проведение очистки (отмывки), то следует дать возможность образцам остыть и
высохнуть перед упаковкой вчистую алюминиевую фольгу;
d) каждый образец отдельно должен быть упакован в фольгу до помещения в контейнер для чистых поме
щений:
e) следует использовать полиэтиленовые контейнеры, изготовленные в чистом помещении, имеющие сер
тификат с подробными данными о химическом составе контейнера. Для предотвращения разрывов контейнера
толщина ею стенок должна быть не менее 80 мкм;
f) контейнер должен быть герметизирован предназначенной для этого липкой лентой с нанесением этикет
ки на его наружную сторону и надписи, запрещающей открывать контейнер за пределами контролируемой зоны;
д) для предотвращения загрязнения образца частицами следует использовать вторичную упаковку для
чистых помещений.
D.2.4.2 Изъятие образца изупаковки
Изъятие образца из упаковки должно производиться при следующих условиях:
a) наружная упаковка (контейнер) должна быть удалена непосредственно перед передачей в зону контро
ля;
b
) не допускается снятие первичной (внутренней) упаковки до поступления образца в зону контроля;
c) при обращении с первичной упаковкой следует использовать полный комплект одежды для чистых по
мещений. включая капюшон и маску для лица:
d) при работе с образцами следует использовать новую пару чистых нитриловых или латексных перчаток.
18