ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
О
к
ончание таблицы D.2
Метод
Сокращен
ное
обозначе
ние
Принцип работы
Полученная
информация
Типовая
чувствитель
ность
Типовые области применения
количественного анализа
ВысокоэфSD-HPLC
фективная
жидкостная
хроматогра
фия с рас
творением
пробы в рас
творителе
Загрязненияраство
ряют в соответствую
щем растворителе и
исследуют методом
высокоэффективной
жидкостной хромато
графии для разделе
ния смеси и опреде
ления отдельных со
единений
2000 нг/м2КоличестОпределение
венныйэкстрагируемых
длястан органических
дартныхкомпонентов
материа
лов
ГазоваяSD-GC/MS
хромато-
масс-
спехтромет-
рия с рас
творением
пробы в рас
творителе
Загрязнения с поверх
ности материала рас
творяют в соответст
вующем растворите
ле. Часть раствора
исследуют с помощью
газовогохромато-
масс-спектрометра
от 500 нг/м" до
10000 нг/м"
Масс-VPD-
спектромет-ICP/MS
рия с индук (ИПС-МС)
тивно
связанной
плазмойс
разложени
емпарами
плавиковой
кислоты
Пары фтороводород Количест10ыато-
ной (плавиковой) ки венный эле мов/м*
слоты конденсируется ментарный
на поверхности для анализ
растворенияоксида
кремния (SiOa) вместе
с загрязнениями. Пла
виковая кислота вме
сте с загрязнениями
формирует капли на
поверхности, ставшей
в результате птдро-
фобной. Полученные
капли кислоты пере
даютсоответствую
щим способом для ис
следования методом
ICP/MS.
Анализультра-
следовых коли
честв металличе
ских загрязнений
накремниевых
пластинах
24