ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
Продолжение таблицы D. 1
Метод
Сокра
щенное
обозна
чение
Принцип работы
Получен
ная
информа-
иия
Чувстви
тельность
Разрешающая
способность
в поперечном
сечении,
глубине
Вид
оличсствен-
мото
анализа
Типовые
области
применения
О
V 1
РентгеновXPS (или Метод электронной Количест 0.1 %<
10
нм Полуколи-Анализ органиче
скаяфото ESCA)спектроскопии с на венный чественный ских и неорганиче
электронная(РФЭС)меренней распреде элеменсостан скихматериалов
спектроско ления энергии фото тарныйдартнымиили остатков на
пия(также электронов и оже- анализ иматериала поверхности; тон
известная как электронов,выде степеньми копленочные
электронная
ляющихся с поверх
окисления структуры;изме
спектроско ности при воздейст рение толщины ок
пия для хи вии на нее фотонов сидной пленки
мического рентгеновского излу (Si02. А120з); опре
анализа)ченияделение
функцио
нальных
полимер
ных групп
ионами
Бомбардированиямолекул
Масс-SIMSМасс-спектромстрия Элеменppm- 2 нм30 нмКоличестСледы загрязнении
спектромет(МСВИ)используетсядля тарныйppb венный для наповерхностях,
рия вторич измерения соотно анализ, стандартных тонкиепленки, ных
ионов шения масса/заряд и определе материалов мнотослоиныс
выделяющихся вто ниепроструктуры с грани
ричных ионов с по стых неорцамираздела;
верхностипосле ганическихоценка структуры и
загрязненности
тонких пленок
Время-TOF-
Л
калотичнен SIMSЭлеменppm— < 5 им < 0,2 нм Полуколи-Микроанализ орга
пролетнаяSIMS тарный и ррь чественный нических и неорга масс-
молеку длястан нических материа спектромет- лярный
дартных ма лов;массовый риявторич анализ
териаловспектрнепосред
ных ионовственно с поверх
ности, наличие ио
нов на поверхно
сти
Сканирующая SEMВысокоэнергетичеСтруктураХарактеристика
{растровая)(РЭМ)ская микроскопия с и морфотопографии микро
электронная использованиемлогияструктуры поверх
микроскопия сфокусированного ности.размеров
сканирующего элекзерен, оксидов (ок
тронного пучка длясидиой пленки) и
полученияизобразагрязнений
жения
скопияобнаружения и изме приме
рения эмиссионных няться со
рентгеновскихим вместно с
пульсов при элек оборудо
тронномвозбужде ванием
нии (SEM)для полу
чения изо
бражения
ЭнергодисSEMАналитическая мето Элемен0.1 %-1 -1ДаЭлементарный
персионнаяEDXдика, которая ис тарный мкм МКМ микроанализ
рентгенов пользует охлаждае анализ.
ская спектромый детектор для Может
20