ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
Продолжение таблицы D. 1
Метод
Сокра
щенное
обозна
чение
Принцип работы
Получен
ная
информа
ция
Чувстви
тельность
Разрешающая
способность
в поперечном
сечении,
глубине
Вид
оличестаен*
ного
анализа
Типовые
области
применения
Ремтгекоф-TXRFРентгеновский спек Количест 10 ppb1 нм1 ммКоличестКоличественный
пуоресцемт- трометр.измеряю венный венный для элементарный
мая спектро щий распределение элемен стандартных анализ неизвест
скопия С ПО
Л
энергии флуорес тарный материалов ных образцов, за
НЫМ внешним ценции. Эмиссион анализ грязнений метал
отражением ное рентгеновское лических поверх
излучение от облу ностей или полу
ченнойпервичнымпроводниковых
рентгеновским облупластин.опреде
чением поверхностиление состава би
при условии полногонарных пленок
внешнего отражения
ИнфракрасFTIRИзмерение для ИК- Анализ1 0 -0.1 — 10 - КоличестОпределение мо
наяФурье- (Фурьеспектровпоглоще химичеатомо»2.5100венный для лекулярной струк
спектросхо-ИКС)ния. когда спектро ских свя С1ы‘МКММКМстандартных туры органических
пия <ИК- метр применяется зей и мо материаловсоединений, пле
Фурье спек для определения лекуляр нок. частиц, по
троскопия) энергии ИК- ной струк рошков. жидкостей,
излучения туры определение со
держания О или И
а кремниевых (Si)
пластиках;опре
деление содержа
иия Н в пластинах
нитрида кремния
S.N
ИК-ФурьеMIR-
спектроскоFTIR
фицированная вер
Опционально модиТо же
пиямногосия ИК-Фурье спекCfu*
кратноготроскопии; ИК-лучи с
внутреннего низким углом паде
отражения ния отражаются
множество раз между
прозрачной для ИК-
излучения призмой и
поверхностью мате
риала для лучшей
возможностиобна
ружения
Менее 10То же
и
атомов
кристаллах происхо
дит снижение часто
ты колебаний данных
кристаллов в линей
ной зависимости час
тоты колебаний от
массы осевших газов
известной
концентра
ции
Кварцевые ОСМ Прибор, в котором Измере W-tM^-flJ Частота виб Тонкая пленка
микровесы при конденсации та ние моле рации срав осевших на по
зов на пьезоэлектри кулярногониваетсяс верхности кварце
ческихкварцевых потокаматериалами вого сенсора газо
образныхзагряз
нений
21