ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
Т а б л и ц а D.2 — Косвенные методы измерений и области их применения
Метод
Сокращен
ное
обозначе
ние
Принцип работы
Полученная
информация
Типопая
чувствитель
ность
Типовые области применения
количественною анализа
Хромато-TD-GC/MS
масс-
сгюктромет-
рия с терми
ческойде
сорбцией
Загрязнения с поверх Количест10 нг/м1
ности материала тер венный мо
мическидесорбиру лекулярный
ются и концентриру анализ ются
в специальной абсорбционной
колон
ке. Затем данные кон
центратыпоступают
на газовый хромато-
графмасс-спектрометр
Количест Анализ следовых
венный количеств орга
для стан нических смесей;
дартных оценка загрязне
материа ний на кремние
лов вых пластинах
(термическая де
сорбция с пла
стины с после
дующей хромато-
масс-
слектрометрией)
Ионная хро- SD-IC/MS
матогра-
фия/масс-
спектромет-
рия с приме
нением рас
творителя
Загрязнения с поверх Количест
1 0
нг/м*
ности материала рас венный ион
творяют в соответст ный анализ
вующем растворите
ле, при необходимо
сти раствор концен
трируют. Определен
ное количество рас
твора вводят в ион
ныйхромато-
граф/масс-спектрометр
КоличестАнализ следовых
венныйколичеств ионных
длястан загрязнений;
дартныхоценка количест
материава растворимых
лов ионныхкомпо
нентов порошков,
инкапсулирова
ние соединений
после подготовки
пробы с помощью
перегонки
пектромет-TD-IMS
рия ионной
подвижности
стермиче
ской десорб
цией
Загрязнения с поверх
ности материала под
вергают термической
десорбции и вводят в
спектрометр подвиж
ности ионов. Загряз
нения разбиваются -
лучами на ионизиро
ванныефрагменты,
которые разделяются
в соответствии с их
ионной подвижностью.
Затем ионы обнару
живаются с помощью
квадрупольного масс-
анализатора
ррЪ в газовой Количест Аммиак и органи
фазе 1мкм/м* венный ческие загрязне
для стан ния на поверхно
дартныхсти материала
материа
лов
КапиллярSD-CE’MS
ныйэлек
трофорез с
последую
щеймасс-
спектромет-
рией с рас
творением
проб в рас
творителе
Загрязненияраство
ряют в соответствую
щем растворителе и
исследуют методом
капиллярного элек
трофореза (СЕ). За
грязнения разделяют
ся в соответствии с их
электрическими свой
ствами и определяют
ся с помощью масс-
спектрометра.
200 нг/м’’
23