ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
0.2.10 Аналитический контроль качества
Рисунок D.4 — Схема контроля качества кремниевой пластины с применением хромато-масс-
спектрометрии с термической десорбцией (TD-GC/MS)
Как правило, образцы с известной концентрацией загрязняющего вещества используются на критических
этапах отбора проб и анализа для контроля работоспособности метода или количественной оценки отклонений на
стадиях подготовки и анализа. Аналитический метод позволяет определить уровни концентрации в образцах с
известной концентрацией, используемых на каждом этапе. В приведенном примере для кремниевой пластины
интенсивность и хроматограмма полного ионного тока (ПС) образца с известной концентрацией загрязняющего
вещества, применяемого для подготовки установки термической десорбции, должна быть такой же. как и в ка-
26