ГОСТ Р ИСО 14644-10—2014
Содержание
Сведения о стандарте......................................................................................................................................................II
1 Область применения.....................................................................................................................1
2 Нормативные ссылки.....................................................................................................................................................1
3 Термины и определения..............................................................................................................................................1
4 Классификация................................................................................................................................................................2
4.1 Принципы установления класса чистоты поверхности в чистых помещениях и
контролируемых средах......................2
4.2 Классификация чистоты поверхностей по концентрации химических загрязнений............................2
4.3 Обозначение класса HCO-SCC......................................................................................................................... 4
4.4 Перевод массовой концентрации в численную концентрацию атомов..................................................5
5 Контроль чистоты поверхности по концентрации химических загрязнений и проверка
соответствия..................................................................................................................................................................5
5.1 Критерии оценки частоты.....................................................................................................................................5
5.2 Протоколы контроля........................5
Приложение А (справочное) Соотношение между различными единицами концентрации
химических загрязнений на поверхности......................................................................................7
Приложение В (справочное) Факторы, влияющие на проведение контроля и его результаты................14
Приложение С (справочное) Существенные условия для правильной оценки чистоты...........................15
Приложение D (справочное) Методы определения чистоты поверхности по концентрации
химических загрязнений..................................................................................................................16
Приложение Е (справочное) Протокол контроля чистоты.................................................................................. 28
Приложение ДА (справочное) Сведения о соответствии ссылочных международных стандартов
ссылочным национальным стандартам Российской Федерации и действующим
в этом качестве межгосударственным стандартам................................................................ 29
Библиография..................................................................................................................................................................30
III