ГОСТ Р 8.743—2011/ISO/TR 14999-1:2005
Рисунок 27 — Френелевская дифракция на границе (по краю) приводит к возрастанию погрешности результата
измерений в случае неточного формирования изображения объекта на чувствительной площадке приемника
излучения
5 Источники случайных и систематических погрешностей
В промышленных интерферометрах в настоящее время достигнуты столь низкие уровни инстру
ментальных погрешностей, что на сходимость результатов измерений в основном влияет стабиль
ность характеристик окружающей среды. С другой стороны, интерферометрия — это вид
относительных измерений, где сравниваются формы двух волновых фронтов. В совокупности с рядам
других воздействующих факторов вышесказанное приводит к появлению трудно выявляемых
систематических погрешностей.
Важно четко отделять источники случайных погрешностей, которые количественно оцениваются
статистическими методами, отсистематических погрешностей, которые поопределению не могутбыть
выявлены и скорректированы повторными (многократными) измерениями. Только калибровка и повер ка
могут оказать помощь в выявлении и корректировке систематических погрешностей.
31