ГОСТ Р 8.743—2011/ISO/TR 14999-1:2005
Распределение облученности (на самом деле интенсивности!) /(<?) определяется соотношением
/(Ф) =
_________
1
_________
(S6)
п - 0
1-t- <4/уД / п2 )sin2 *> /2’
r
——
где N
R
=
1-R
идеальная отражательная добротность.
Т, R — коэффициенты пропускания и отражения соответственно обоих зеркал;
Ф— суммарная эффективная фаза или задержка на длине оптического пути между двумя
любыми следующими друг за другом фазовыми фронтами.
Практически общее эффективное число интерферующих пучков не бесконечно, поскольку энер
гия, переносимая л-ми пропускаемыми пучками, т. е. 7*. Рвп, становится при достаточно большом п
пренебрежимо малой. Более того, в ИФП
ф =
const. ИФП являются полосами равного наклона и стано
вятся тем уже. чем выше коэффициент отражения поверхностей зеркал. Увеличение коэффициента
отражения оказывает подобное влияние на распределение интенсивности полос Физо равной толщи
ны, образуемых тонкими пленками.
Это позволяет выделить тонкие детали контура толщины контролируемой пленки.
Для упрощения можно рассматривать многолучевой интерферометр Физо в виде тонкой пленки в
форме клина с плоскими поверхностями, сходящимися под малым углом 0 иосвещаемыми коллимиро
ванным пучком монохроматического или кваэимонохроматического излучения. Многократные отраже
ния от поверхностей приводят к тому, что прошедшее излучение содержит совокупность плоских волн,
распространяющихся в разных направлениях. Многолучевая (многопучковая) интерференция может
наблюдаться и в отраженном свете. Если отражающие поверхности не поглощают излучение, то
наблюдаемая в отраженном свете интерференционная картина является дополняющей интерферен
ционную картину в прошедшем свете в том смысле, что сумма их интенсивностей в каждой точке равна
интенсивности падающего излучения.
Полосы в интерференционной картине прошедшего излучения узки и ярки, причем резко контрас
тируют с практически темным фоном; зато полосы в отраженном свете прямо противоположны: они
темные на светлом фоне.
Многолучевая (многопучковая) интерферометрия Физо используется при отборе высококачес
твенных оптических пластин для ИФП.
Фактические отличия ИФП от интерферометра Физо сводятся к следующему;
a) фазовая задержка междуконструктивными волновыми фронтами, порождаемыми «наклонны
ми» зеркалами интерферометра Физо, прогрессивно возрастает, оставаясь неизменной при парал
лельности зеркал ИФП;
b
) выход в окружающее боковое пространство пучков в многолучевом интерферометре Физо не
может быть компенсирован с целью улучшения ни путем фокусировки, ни использованием формирова
теля изображений.
Наиболее существенные компоненты интерферометра Физо представлены на рисунке 21.
1
— излучатель:
2 —
светоделитель.
3
— наблюдение прошедшего излучения.
4
— наблюдение отраженного излучения:
М |.М
2
— плоские поверхности
Рисунок 21 — Наиболее существенные компоненты интерферометра Физо
22