ГОСТ Р 8.743—2011/ISO/TR 14999-1:2005
небольшой угол клина по отношению к плоскости испытуемой зеркальной поверхности. Образующиеся
многократные отражения между поверхностями светоделителя и зеркала формируют пространствен но
разделенные изображения источника света в задней фокальной плоскости линзы L2.Это позволяет
выделить пучок, претерпевающий любое требуемое количество отражений испытуемым зеркалом в
пределах апертуры в фокальной плоскости линзы Ц. В результате интерференции опорного волново го
фронта и подвергающегося п отражениям от испытуемого зеркала волнового фронта появляются две
интерференционных полосы при условии, что опорное зеркало наклонено так. что отраженный им свет
проходит сквозь ту же апертуру. Следовательно, волновой фронт деформируется на величину 2п ■М,
где
Л
/— отклонение формы его поверхности от плоской (т. е. неплоскостность).
Отсюда следует, что отношение смещения полосы лО к усредненному расстоянию между поло
сами
ДО/О = 2л •Д/- /.(55)
Следовательно, чувствительность этого прибора оказывается в л раз большей, чем у обычного
интерферометра Тваймана—Грина.
3.4.2 Двухлучевая и многолучевая интерференция
Многолучевая интерференция позволяет получить высокую точность пространственных измере
ний. Одним из наиболее компактных многолучевых интерферометров является интерферометр Фаб
ри—Перо (ИФП). Он состоит из двух плоских стеклянных или кварцевых пластин. Внутренние
поверхности, покрытые частично прозрачными пленками с высоким коэффициентом отражения,
параллельны другдругу, так что они замыкают собой плоскопараллельный воздушный объем. В одном
из вариантов ИФП одна из его пластин снабжена микрометрическим механизмом, осуществляющим ее
плавное перемещение, благодаря чему достигается непрерывное изменение расстояния между плас
тинами. В результате одиночная плоская световая волна, падающая под углом 0на прозрачное зерка
ло 1 (рисунок 20). производит вследствие многократных отражений последовательность волн. Все эти
волны в результате суперпозиции формируют в фокальной плоскости линзы идеальные полосы Эйри,
как показано на рисунке 20. Многопучковые полосы чрезвычайно узки, и при коэффициенте отражения
поверхности 99 % локальная добротность может достигать 300.
Рисунок 20 — Образование интерференции а интерферометре Фабри— Перо
Интерферометры Фабри—Перо могут быть использованы в спектроскопии высокого разрешения
при наличии источника квазимонохроматического излучения либо в том случае, когда коллимирован
ный пучок белого света падает на высокоотражающие плоскопараллельные пластины, в результате
чего образуется фильтр длин волн.
21