ГОСТ Р 8.743—2011/ISOH-R 14999-1:2005
1
— лазер
Рисунок 26 — Интерферометр, аналогичный изображенному на рисунке 25. но с референтным (опорным) зерка
лом. наклоненным на угол а
• либо М3 или испытуемый объект проецируется на чувствительную поверхность приемника
излучения линзами L3и L4с диафрагмой Вй. являющейся ограничивающей апертурой.
Формирование изображения излучателя осуществляется дважды; если изображения сдвинуты в
поперечном направлении, наблюдаются полосы Физо: если изображения сдвинуты в аксиальном
направлении, то становятся видными так называемые полосы Хайдингера.
4.5 Последствия неточного формирования изображения объекта на чувствительной
поверхности приемника излучения
В 4.4 показано, что качественное формирование изображения объекта сограниченной апертурой
В3 возможно, для чего необходимо смещение приемника D с апертурной диафрагмой В5 в сопряжен
ную плоскость. При несоблюдении этого условия возможны два варианта получения изображения:
а) волновой фронт измеряется в плоскости, сопряженной с чувствительной поверхностью при
емника излучения. Если эта плоскость не является поверхностью измеряемого объекта, то волновой
фронт будет иметь изменяющуюся форму по мере его продвижения к приемнику (см. 2.13). Если изме
ряемый объект имеетасферическую поверхность, то этотэффект проявляется столь сильно, что изме
ренный в плоскости чувствительной поверхности приемника волновой фронт может иметь
существенно отличную от первоначальной форму;
б) ограничивающая диафрагма 83 или граница (контур) измеряемого объекта приводят к интен
сификации дифракции Френеля. Наличие этой дифракции на резком крае или круглой диафрагме сви
детельствует об изменении фазы волны. Таким образом, модулированной оказывается не только
интенсивность интерференционных полос, подверженная воздействию ложных дифракционных
полос, но и измеряемая разность фаз. На рисунке 27 изображена интерферограмма высококачествен
ной плоской поверхности с пятью вызванными наклоном полосами; на рисунке отчетливо видно, как
полосы модулированы френелевской дифракцией на границе (по краю).
30