ГОСТ Р 8.743—2011/ISO/TR 14999-1:2005
<
1—
поляризатор,
2
— Af) — опорное зеркало.
3 — четвертьволновая пластина.
4
—
Л
2
— испы
туемое зеркало. 5 — JW3 —- дополнительное зерка
ло; б — анализатор. 7 — зрачковая диафрагма Si;
НН
*— испытуемаялинза;Н>М^— линза
— линза
L2; S
— излучатель; S i.
S2
— свето
делители
Рисунок 18 — Двухпроходный интерферо
метр Тваймана—Грина для разделения сим
метричных и антисимметричных аберраций
волнового фронта
чить более тонкие полосы. Однако в настоящее время стараются использовать схемы измерений
фазы для определения ее распределения с очень высокой точностью.
3.4.1.3 Многоходовая интерферометрия
Многоходовая интерферометрия позволяетс высокой чувствительностью непосредственно визу
ально отображать погрешности искажения волнового фронта. Для определения путем увеличения
получаемого отношения AQ/Q той же самой погрешности, вносимой испытуемой оптической системой
или элементом, используется то обстоятельство, что общая (суммарная) деформация волнового
фронта пропорциональна числу его отражений от или прохождений сквозь испытуемую оптическую
систему.
Типичная конфигурация интерферометра Тваймана—Грина показана схематически на рисун
ке 19 [18]. В одно из плеч интерферометра введен вспомогательный светоделитель, образующий
f — опорное зеркало.
2
— испытуемая поверх
ность: 3 — вспомогательный светоделитель
S2;
S i— светоделитель:
И\Н\
— линза
—
яии-
заh
20
Рисунок 19 — Многоходовой интерферометр
Тваймана—Грина