ГОСТ Р 8.743—2011/ISO/TR 14999-1:2005
3.3.2.6 Интерферометр Маха—Цендера
Этот прибор подобен интерферометру Тваймана—Грина, но имеет ряд преимуществ по сравне
нию с ним. Схема интерферометра приведена на рисунке 17.
1
— излучатель:
2
— плоское зеркало:
3
— объектный пучок:
4
— испытуемый образец: 5 — светоделитель.
6
— наблюдатель:
7
— плоское зеркало:
8
— опорный пучок: 9 — светоделитель:
10
— коллиматор
Рисунок 17 — Интерферометр Маха—Цендера
Если испытуемый образец обладает сильными аберрациями, рекомендуется пропустить пучок
света сквозь него однократно. Дополнительным преимуществом этой схемы является ее автоматичес
кая самокомпенсация благодаря наличию в ней двух идентичных светоделителей.
Этот интерферометр может быть использован для оценки качества волнового фронта излучения
источника, при испытаниях внеосевых параболоидов, при юстировке равносторонних гиперболических
зонных пластинок или при оценке погрешностей, порождаемых неточностью юстировки испытуемых
оптических систем.
3.4 Характерные особенности оптических схем интерферометров
3.4.1 Двухпроходные и многоходовые интерферометры
3.4.1.1 Общие сведения
Двухпроходные и многоходовые интерферометры имеют ряд преимуществ в некоторых примене ниях.
В этих приборах один или более волновых фронтов возвращаются обратно идважды или много
кратно проходят сквозь всю систему или часть ее. Интерференционная картина, получаемая с
помощью линз в интерферометре Тваймана—Грина, отображает контуры волнового фронта, покидаю
щего апертуру линзы. Основная трудность заключена в определении отдельных аберраций из их сово
купности. обнаруженной у данного оптического элемента. Задача упрощается, если интерферометр
Тваймана—Грина используется в двухпроходной [4. 12] или многоходовой конфигурации [4.18].
3.4.1.2 Двухпроходная конфигурация
Эта конфигурация изображена на рисунке 18. Пучки, покидающие интерферометр сквозь линзу
L2, отражаются в обратном направлении плоским зеркалом М3, расположенным в фокусе этой линзы.
Двухлроходные пучки, исходящие из линзы Lv с помощью вспомогательного светоделителя S2фоку
сируются назрачковойдиафрагме, где формируютсядва движущихся в разные стороны от оси изобра
жения в случае весьма небольшого бокового смещения излучателя. Таким образом, можно отличить
формирование нормальной интерференционной картины от сформированной двухпроходными пучка
ми.
В классической интерферометрии точность измерений обычнымдвухлучевым интерферометром
зависит от точности определения местоположения смещения дQ интерференционной полосы. Оно
оценивается какдробная часть усредненного интервала Q между полосами. Эта точность ограничена
наличием синусоидального распределения облученности в полосах двух пучков. Одним из способов
повышения точности является использование многолучевой интерферометрии (см. 3.4.2), чтобы полу-
19