ГОСТ Р 8.743—2011/ISO/TR 14999-1:2005
3.4.3 Общий (оптический) путь
В так называемых интерферометрах с общим оптическим путем опорный и предметный пучки
распространяются по одному и тому же общему пути. В обычных интерферометрах, где эти пучки про
ходят по существенно различным путям, механические и температурные возмущения оказывают раз
ные влияния на пучки, приводя к искажениям интерферограмм. Это особенно сказывается при
испытаниях и контроле широкоапертурных оптических систем. Большинство из этих трудностей пре
одолевается в схемах интерферометров с общим оптическим путем прохождения опорного и объек
тного пучков, так как возмущения одновременно и единообразно воздействуют на оба пучка, не влияя на
измеряемую разность фаз.
В то же время отсутствует потребность в высококачественных оптических элементах в каналах
опорных пучков, имеющих размеры, равные размерам испытуемых оптичесхих элементов. Более того,
возможно применение источника белого света, поскольку разностьдлин оптических путей двух пучков в
центре поля зрения равна нулю. В большинстве подобных интерферометров оба пучка подвержены
воздействию ряда аберраций и возникает интерференция за счет взаимного сдвига пучков друг отно
сительно друга. Следовательно, получаемая информация оказывается не вполне достоверной, и тре
буется ряд дополнительных вычислений для определения формы искаженного волнового фронта.
Расщепление пучка может быть реализовано путем амплитудного деления с помощью частично
рассеивающей поверхности (например, двухлучепреломляющего кристалла или полузеркальной
поверхности).
На рисунке 22 изображена схема интерферометра Бурча (Burch’s) с рассеивающей пластиной,
используемого при испытаниях (контроле) вогнутых зеркал.
Л
инза Н^Н\ формирует изображение
небольшого излучателя S в виде точки S* на поверхности зеркала. Светоделитель (рассеивающая
пластина) расположена в центре кривизны С зеркала радиусом R.
Рисунок 22 — Интерферометр Бурна с рассеивающей пластиной
Фотографируя и просветляя спеклограмму. получают две идентичные рассеивающие пластины
Я, и R2.Зеркало Сформирует изображение пластины R, на пластине R2. Существует и другой вариант
реализации поточечного совпадения оригинала R2 и изображения Ry Полуотражающее зеркало В
направляет отраженный зеркалом М свет на R2. Часть светового потока падает на рассеивающую
пластину Rv проходит сквозь нее без рассеяния и попадает в точку S*. Этот пучок функционирует в
качестве опорного и не подвержен воздействию аберраций и дефектов поверхности зеркала. Часть
падающего света рассеивается пластиной R1и заполняет всю апертуру зеркала М. Этот пучок и явля
ется объектным, выявляющим аберрации идефекты поверхности зеркала. Один пучок непосредствен
но пропускается пластиной R, и рассеивается пластиной R2, а второй рассеивается пластиной R, и
пропускается пластиной R2. Таким образом, два взаимно когерентных пучка покидают пластину R2,
перекрывая один другого, и наблюдатель, созерцающий поверхность зеркала сквозь пластину R2,
может видеть интерферограмму двух пучков. Если зеркало в окрестности S свободно от дефектов и
аберраций, интерферограмма отчетливо это подтверждает.
23