ГОСТРИСО 22309—2015
центах долей более тяжелых элементов, измеренных в результате проведения анализа. Данный метод
возможен только при высокой стабильности тока электронного зонда и при выполнении независимых
измерений по крайней мере одного стандартного образца. Метод требует высокоточного анализа всех
других элементов в образце.
Приложение А суммирует вопросы анализа легких элементов, которыедополняют вопросы, суще
ствующие для количественного анализа более тяжелых элементов. Если есть возможность использо
вать оба метода (ЭДС и СДЦВ), то метод СДДВ позволяет преодолеть проблему наложения спектраль
ных пиков, которая возникает при низких энергиях в методе ЭДС. Тем не менее, существуют проблемы,
присущие обоим методам.
2 Нормативные ссылки
В настоящем стандарте использованы нормативные ссылки на следующие международные стан
дарты (для недатированных ссылок следует применять последнее издание приведенных стандартов):
ИСО 14594 Электронно-зондовый микроанализ. Руководство по определению эксперименталь
ных параметровдля волновой дисперсионной спектрометрии (IS014594. Microbeam analysis — Electron
probe microanalysis — Guidelines forthe determination ofexperimental parameters for wavelength dispersive
spectroscopy)
ИСО 15632:2002 Технические требования к энергодисперсионным рентгеновским спектрометрам
с полупроводниковыми детекторами (ISO 15632:2002. Microbeam analysis — Instrumental specification for
energy dispersive X-ray spectrometers with semiconductor detectors)
ИСО 16700 Растровая электронная микроскопия. Методика определения увеличения изображе
ния (ISO 16700, Microbeam analysts — Scanning electron microscopy — Guidelines for calibrating image
magnification)
ИСОУМЭК 17025:2005 Общие требования к компетентности лабораторий, проводящих тестирова
ние и калибровку (ISO/IEC 17025:2005. General requirements for the competence of testing and calibration
laboratories)
3Термины и определения
В настоящем стандарте применены следующие термины с соответствующими определениями:
3.1 анализ без использования стандартных образцов в процессе измерений (standardless
analysis). Методика количественного рентгеновского микроанализа, в которой опорное значение интен
сивности пика в /(-отношении (/(-отношение — отношение измеряемой интенсивности пика и опорной
интенсивности пика) получено на основе теоретического расчета, либо из сохраняемых данных, полу
ченных ранее с помощью комплекта стандартных образцов, причем учитывают поправки на условия
проведения анализа и на неполноту априорной информации.
3.2 аттестация (validation): Подтверждение того, что выполнены конкретные требования для кон
кретного предполагаемого использования. Такое подтверждение достигается путем экспертизы и пред
ставления объективных доказательств.
3.3 аттестованный стандартный образец; АСО (certified reference material CRM): Стандартный
образец, одно или несколько свойств которого установлены метрологически обоснованными процеду
рами, сопровождаемый паспортом стандартного образца, в котором приведены значения этих свойств с
указанием их неопределенности и утверждение о метрологической прослеживаемости.
3.4 воспроизводимость (reproducibility): Прецизионность в условиях воспроизводимости.
3.5 время чувствительности спектрометра (live time): Время, в течение которого измеритель
ная система ЭДС способна регистрировать рентгеновские фотоны.
См. также мертвое время (dead time) (3.8).
П р и м е ч а н и е 1 — Время чувствительности выражается в секундах (с).
П р и м е ч а н и е 2 — Время чувствительности равняется времени выполнения анализа за вычетом мертвого
времени. Время выполнения анализа — реальное время, которое можно было бы измерить обычными часами. При
регистрации рентгеновского излучения время выполнения анализа всегда превышает время чувствительности.
3.6 интенсивность пика (peak intensity): Количество срабатываний детектора рентгеновского из
лучения под профилем характеристического пика (после вычитания интенсивности фонового излуче
ния).
2