ГОСТРИСО 22309—2015
Введение
Рентгеновское излучение, возникающее в результате взаимодействия электронного пучка вы
сокой энергии с образцом, обладает длиной волны {энергией квантов), характерной для элементов,
содержащихся в образце. Интенсивность рентгеновского излучения от каждого элемента зависит от
концентрации данного элемента в образце. Если измерить указанные интенсивности, сравнить их с
интенсивностями от стандартного образца (или набора стандартных образцов), внести соответству
ющие поправки, можно определить концентрацию каждого элемента. Измерительные процедуры без
использования стандартных образцов в процессе измерений также позволяют получить количествен
ную информацию о концентрациях, но они включают сравнение либо с ранее измеренными опорными
интенсивностями, данные о которых имеются в программном обеспечении оборудования, либо с ин
тенсивностями. рассчитанными теоретически. Указанным измерительным процедурам, в зависимости
от сделанных предположений, может быть присуща меньшая точность, чем методу, использующему
стандартные образцы в процессе измерений (см. [1]—(8]). Существует два основных метода измерений
характеристического рентгеновского излучения. Первый основан на спектрометрии с дисперсией по
длинам волн (СДДВ). второй — на энергодисперсионной спектрометрии (ЭДС). В настоящем стандарте
рассматривается метод ЭДС.
Использование ЭДС для количественного анализа элементного состава (с атомным номером ме
нее Z < 11 (Na>) является более сложным, чем в случае Z £ 11: некоторые из возникающих проблем
описаны в настоящем стандарте.
IV