Государственная система обеспечения единства измерений
Микроанализ электронно-зондовый
Количественный анализ с использованием энергодисперсионной спектрометрии для элементов с атомным номером от 11 (Na) и выше State system for insuring the uniformity of measurements
Microbeam analysis
Quantitative analysis using energy-dispersive spectrometry (EDS) for elements with an atomic number of 11 (Na) or above (Настоящий стандарт устанавливает общие требования к проведению электронно-зондового микроанализа с помощью энергодисперсионного спектрометра, входящего в состав растрового электронного микроскопа (РЭМ) или электронно-зондового микроанализатора (ЭЗМА) при определении элементов с атомным номером от 11 (Na) и выше
Настоящий стандарт предназначен для применения при проведении количественного анализа элементного состава образцов в определенных точках или областях образца
Любое выражение для массовой доли элементов, как, например, «большбя/малая массовая доля» или «бомльшая/меньшая массовая доля», должно быть количественным (например, в процентах)
Правильная идентификация всех элементов, содержащихся в образце, является необходимой частью количественного анализа, и она также рассматривается в настоящем стандарте
Настоящий стандарт представляет руководство по использованию различных подходов
Стандарт может использоваться для количественного анализа с нижней границей диапазона измерений массовых долей до 1 % как с использованием стандартных образцов, так и без использования стандартных образцов в процессе измерений
Настоящий стандарт может быть с уверенностью использован при определении элементов с атомными номерами Z > 10