ГОСТ Р И С 016962—2012
Устанавливают высокое напряжение на детекторах, как указано в 6.2.4.
Настраивают параметры разряда, как описано в 6.2.5. регулируя сначала применяемую мощность и
при необходимости давление.
Оптимизируют форму кратера, какописано в 6.2.6. путем регулирования давления.
Проводят повторное измерение скорости углубления для образца чугуна или стали и настраи
вают мощность. При необходимости возвращают скорость к значениям, лежащим в диапазоне от
2 до 3 мкм/мин. Повторяют циклы регулирования мощности и давления, пока не исчезнут
значительные изменения скорости углубления или формы кратера. Обращают внимание на значения
установленных мощ ности и давления в тех единицах, в которых откалиброван прибор. Эти же условия
затем используют при градуировке и проведении анализа.
6.2.3.3 Режим постоянного значения мощности и изменяющегося значения напряжения
постоянного тока
В качестве двух управляющих параметров используют мощность и изменяющееся напряжение по
стоянного тока. Сначала применяют ряд значений мощности и настраивают давление рабочего газа влам пе
так. чтобы достичь стандартных смещений, как это предлагает производитель. Если рекомендованные
значения не подходят, то выбирают значение мощности и смещающее напряжение постоянного тока, близ
кое к середине диапазонов, обычно используемыхдля достижения необходимой глубины профилирования
металлических образцов. На приборах, оснащенных устройством управления давлением, это может быть
достигнуто автоматически. Измеряют скорость углубления (т. е. значения глубины в единицу времени) для
образцов чугуна или стали. Управление мощностью позволяет менятьскорость углубления приблизительно
от 2 до 3 мкм/мин.
Устанавливают высокое напряжениедетекторов, как предусмотрено в 6.2.4.
Настраивают параметры разряда, как описано в 6.2.5. регулируя сначала мощность и при необходи
мости смещение напряжения постоянного тока.
Оптимизируют форму кратера, какописано в6.2.6, путем изменения смещающего напряжения посто
янного тока.
Повторно измеряют скорость углубления (пенетрации) для образца чугуна или стали. Настраивают
прикладываемую мощность, при необходимости возвращаясь к скорости от 2 до 3 мкм/мин. Повторяют
циклы регулирования мощности и смещающего напряжения постоянного тока до тех пор. пока не будет
никаких значительных изменений скорости углубления или формы кратера. При необходимости регули
руют смещенное напряжение постоянного тока до установления правильного значения. Обращают внима
ние на единицы мощности и смещенного напряжения постоянного тока, использованные в конкретном
приборе. Эти условия затем используют при градуировке и проведении анализа.
6.2.3.4 Режим постоянных значений эффективной мощности и радиочастотного (РЧ) напря
жения
В качестве двух управляющих параметров применяют эффективную мощность и РЧ напряжение.
Постоянная эффективная мощность определяется в настоящем стандарте как приложенная мощность за
вычетом (минусом) отраженной мощности и «темновой мощности», измеренной с помещенным образцом,
но без плазмы (в условиях вакуумирования). РЧ напряжение определяется здесь как RMS-напряжение,
т.е. среднеквадратичное (эффективное) напряжение на электродах.
Включают питание для источника тлеющего разряда с постоянной эффективной мощностью и посто
янным РЧ рабочим напряжением, используя набор типичных значений, рекомендованных производите
лем. Если предпочтительнеедругие значения напряжения, можно, например, устанавливать набор значе
ний РЧ напряжения до 700 В и значения мощности вдиапазоне от 10 до 15 Вт для анода размером 4 мм.
Если нет никаких предварительных знаний о значениях оптимальной мощности, рекомендуется начинать
со значений, находящихся приблизительно в середине рекомендуемого диапазона.
Устанавливают высокое напряжение на детекторах в соответствии с 6.2.4.
Настраивают параметры разряда, как описано в 6.2.5. регулируя сначала мощность и при необходи
мости РЧ напряжение.
Оптимизируют форму кратера в соответствии с 6.2.6 путем изменения РЧ напряжения.
Повторно измеряют скорость пенетрации образца чугуна или стали и регулируют мощность, если
необходимо, возвращаясь к значениям от 2 до 3 мкм/мин. Повторяют циклы регулирования мощности и
смещенного напряжения постоянного токадо тех пор, пока не будут отмечаться значительные изменения
скорости пенетрации или формы кратера. Если этого не происходит, регулируют смещенное напряжение
6