ГОСТ Р И С 016962—2012
Приложение А
(обязательное)
Расчет градуировочных характеристик и уравнений
количественной оценки глубины профилей
7
А.1 Обозначения
А.1.1 Обозначения, использованные в настоящем приложении
ач — атомная доля элемента / в сегменте ];
Аи — площадь кратера в образце М,
см — массовая доля элемента i в образце М:
с, м/ — массовая доля элемента / в сегментеj образца М;
Л/, — время распыления для сегмента у
/— элемент/;
£>. — интенсивность спектральной линии X элемента /;
j— сегмент глубины профиля;
М,м — общая масса, распыляемая с единицы поверхности для сегментаJ;
р— плотность чистого элемента /;
р— плотность в сегментеj :
w, — атомный вес элемента /’;
z) — толщина сегмента /.
A.1.2 Обозначения, используемые в А.2 и А.4, касающиеся относительных скоростей распыления
B, — значение интенсивности спектрального фона на длине волны X, % масс.;
8>.rai — приведенное значение интенсивности спектрального фона на длине волны X. %;
Ь, — значение интенсивности спектрального фона на длине волны X;
/с,м(qu— относительная скорость распыления элемента / в сегменте/.
к,7 — коэффициент, определяемый преобразованным (инверсным) значением выхода эмиссии элемен
та I для спектральной пинии X и относительной скоростью распыления;
т, и) — распыленная масса единицы площади для элемента / сегмента } образца М.
Чи — скорость распыления, выраженная как скорость потери массы на единицу площади в образце М: <.ц,
— скорость распыления, выраженная как скорость потери массы на единицу площади в сегментеу; qu
/дГог— отношение скоростей распыления образца М и образца сравнения:
Ф«т/Ц» — отношение скоростей распыления образца сравнения и образца М:
— преобразованное (инверсное) значение выхода эмиссии элемента / на спектральной линии к:
Rах— значение выхода эмиссии элемента /’ на спектральной линии X;
$а. — коэффициент, выражающий степень нелинейности.
А.1.3Обозначения, использованные вА.З и А.5, относящиеся к абсолютным скоростям распыления
В \— значение интенсивности спектрального фона на длине волны X. выраженные в % масс., умноженное
на скорость распыления:
В’,ге1— приведенное значение интенсивности спектрального фона на длине волны X, выраженное в
% масс., умноженное на скорость распыления:
{См’Я’и)/ — изначальная скорость распыления элемента / в сегменте j :
— коэффициент, определяемый преобразованным (инверсным) значением выхода эмиссии элемен
та / для спектральной линии X и скоростью распыления;
Мщ — распыленная масса элемента / в сегменте j образца М:
Q’u — скорость распыления или скорость потери массы образца М\
О’и, — скорость распыления или скорость потери массы в сегменте у.
— обратная величина значения эмиссии элемента i на спектральной линии X:
/?
2
/>.— значение выхода эмиссии элемента I на спектральной линии X;
S(x — коэффициент, выражающий степень нелинейности.
А.2 Расчет градуировочных характеристик с использованием относительных скоростей распыления
Градуировочную зависимость определяют по одному из следующих уравнений:
С,м(Чм/фвт)=- вЛ(А.1)
или
c.u= Rui.-
(А.2)
где c,u— массовая доля элемента / в образце М:
Qu iQiai — отношение скоростей распыления образца М и образца сравнения;
qu — скорость распыления, выраженная как скорость потери массы на единицу площади в образце М;
14