ГОСТ Р И С 016962—2012
П р и м е ч а н и е 1— Обратная величина значения эмиссии (/?*11А) элемента / для спектральной пинии /.
относится к значению выхода эмиссии R’2l7l как
R’,IX=1/R ’^.(А-10)
где величина эмиссии определяется как
«2,х =(/а -Ь я Ж с ^ О(А.11)
где Ь, — значение интенсивность спектрального фона.
Пр и ме ч а н и е 2 — Значения спектрального фона В\ и 6 ’^, связаны между собой следующей зависимо
стью
(А.12)
Равенства (А.8) и (А.9) можно преобразовать в нелинейные градуировочные зависимости с учетом попра
вок второго и бопее высокого порядка. Иллюстрацией таких нелинейных градуировочных зависимостей второго
порядка уравнений (А.8) и (А.9) являются соответственно следующие уравнения:
см’Ч’и -(д+ sV W ~ в >х(А. 13)
и
c.v=п.’^о/Я’и* sa‘Ax2!Я’и~ В’ги*-(А.14)
где s‘/>.— поправочный коэффициент, учитывающий степень нелинейности.
Настоящие градуировочные зависимости были получены регрессионным анализом градуировочных дан
ных с использованием метода наименьших квадратов.
П р и м е ч а н и е 3 — Значения спектральногофона вуравнениях (А.8) и (А.9) не являются постоянными,
а в той или иной степени зависимы от матрицы (основы), как было указано в 4.2.3.1 настоящего стандарта. В
практической работе всегда предпочтительнее выбирать наименьшее значение измеренной интенсивности, как
фиксированный спектральный фон для каждой спектральной линии.
П р и м е ч а н и е 4 — Все имеющиеся в распоряжении коммерческие приборы, произведенные в после
днее время, позволяют проводить коррекцию фона и учитывать межэлементные влияния.
А.4 Расчет массовых долей и распыленных масс с использованием относительных скоростей распы
ления
А.4.1 Общие требования
Расчет массовых долей элементов и распыляемых масс выполняют в соответствии с различными набора
ми алгоритмов, как описано ниже, в зависимости от использованной градуировочной зависимости. Однако конеч
ные результаты равноценны.
А.4.2 Расчет, основанный на изначальной относительной скорости распыления
Если была использована градуировочная зависимость, основанная на уравнении (А.1). выполняют сле
дующие действия. Для каждого сегмента/ глубины профиля рассчитывают из градуировочной зависимости коли
чество [clM(quдля каждого элемента г. Это количество называют относительной изначальной скоростью
распыления.
При условии что сумме установленных содержаний всех элементов составляет более 98 %. рассчитывают
относительную скорость распыления (рм/дгв|), сегмента/для глубины профиля образца М. используя уравнение
«?« ’<»,*>/= Sic*, (Ом’0,«,И//100.(А-15)
Массовую долю элемента i в сегменте j ctW.. %. определяют из уравнения
с*у = (
са
/ (O.w
>Я’Л KQulQrai);-
(А-
16
)
где Сщдано в процентах.
Общую массу ММо|. распыленную с единицы поверхности сегмента/ за промежуток времени Дф, опре
деляют по уравнению
И ice = Qrnt (Ом/<7гв();‘
Щ
■(А. 17)
А.4.3 Расчет, основанный на массовых долях элементов
Если для градуировки была использована градуировочная зависимость, основанная на уравнении (А.2).
выполняют следующие действия.
При условии что сумма установленных содержаний всех элементов составляет более 98 %. рассчитывают
массовую долю с,щэлемента / в сегменте j образца М, %. по уравнению
16