ГОСТ РИСО 16962—2012
где к; у равно RVy(qra<lq.v).
100
lkix Л
а
~а ).гд|);
С*Ч =
I
Л \ “ в Arol)>
.
П р и м е ч а н и е — Уравнение (А.18) нормирует сумму всех массовых долей к 100 %.
(А.18)
Если используют нелинейную градуировочную зависимость, то заменяют все линейные зависимости, при
веденные в уравнении (А.18). соответствующими нелинейными зависимостями.
Для каждой глубины профиля сегментаj вычисляют скорость распыления, выраженную как скорость поте
ри массы на единицу площади в сегменте qU). используя уравнение
<Ч = *г.г1<*и>’а-^го1>’1°0.(А-19)
I
Для каждого сегментаj и соответствующего этому сегменту времени распыленияпо глубине профиля
рассчитывают массу mM j. распыленную с единицы площади для элемента /, используя уравнение
m
™,4 =<J >
c
a
v
a
V100-(А.20)
Общую массу MjlcA. распыленную с единицы поверхности сегментаj. определяют по уравнению
W/tix = X miиг(А-21)
А.5 Расчет массовых долей и распыленной массы с использованием абсолютных скоростей
распыления
А.5.1 Общие требования
Расчет изначальных массовых долей и распыляемых масс выполняют в соответствии с различными набо
рами алгоритмов, как описано ниже, в зависимости от использованной градуировочной зависимости. Однако
конечные результаты равноценны.
А.5.2 Расчет, основанный на исходной скорости распыления
Если была использована градуировочная зависимость, основанная на уравнении (А.8). выполняют
следующие действия.
Для каждого сегмента j по глубине профиля рассчитывают из градуировочных зависимостей для элемента
г(cw • q’M)l относительную скорость распыления элемента / в сегменте j.
При условии что сумма установленных содержаний всех элементов составляет более 98 %. рассчитывают
скорость распыления q‘Uj сегментаj по глубине профиля образца iVf. используя уравнение
я‘т = 1(с.м Я»), /100.(А.22)
i
Массовую долю элемента / в сегменте j образца МсМ). %. определяют по уравнению
a
слу=(
с
а
г
’ Q iljfq’u} -(А-23)
Общую массу ЛЛм. распыленную с единицы поверхности в сегменте; за промежуток времени Дф, опреде
ляют из уравнения
(А-24)
гдеАи — площадь кратера образца М.
А.5.3 Расчет, основанный на массовых долях элементов
Если для градуировки была использована градуировочная зависимость по уравнению (А.9). выполняют
следующие действия. При условии, что суммаустановленных содержаний всех элементов составляет более 98%.
рассчитывают массовую долю элемента / в сегменте j образца М сл,1, % масс., по уравнению
см/ =
/
(К х ’hx)/
100
.
2 .(к ’п ’Л х - 8 ‘xral)/
(А.25)
где к)кэквивалентно R\u / q‘m.
П р и м е ч а н и е — Уравнение (А.25) нормирует сумму всех массовых долей элементов к 100 %.
Если используют нелинейную градуировочную зависимость, то заменяют все линейные зависимости, при
веденные в уравнении (А.25). соответствующими нелинейными зависимостями.
Для каждой глубины профиля сегмента вычисляют скорость распыления q’MI по уравнению
I
Ям/ = Х (*’.
а
Л
а
(А.26)
17