ГОСТ РИС0 16962—2012
Для каждого сегментаj и соответствующего этому сегменту времени распыленияпо глубине профиля
рассчитывают массу MlUl элемента / по уравнению
=100.(А.27)
Общую массу Mjto!, распыленную с единицы поверхности сегмента / определяют по уравнению
мцел =
г
1Ам-(А-28)
А.6 Расчет глубины распыления
А.6.1 Общие требования
Аналитический метод, приведенный в настоящем стандарте, позволяет определить как общую распыляе
мую массу покрытия, так и массовые доли каждого элемента. Для определения глубины распыления необходимо
знать плотность распыляемого материала. Для материалов, рассматриваемых в настоящем стандарте, эту оцен
ку (ложно провести, зная элементный состав покрытия и плотности чистых элементов.
Ниже приведены два метода расчета глубины распыления, которые могут быть использованы в этом
методе.
А.6.2 Расчет, основанный на постоянстве атомного объема
Для каждого сегмента глубины профиля рассчитывают плотность, по уравнению
Р/=100/ х Х
(А.29)
где Ру— плотность чистого элемента/
Для каждого сегмента; глубины профиля рассчитывают толщину этого сегмента zt по уравнению
Р/
*/ =
Ч,«*
(А.30)
Общая глубина определяется суммой zf по всем сегментам.
Хотя нет острой необходимости, можно рассчитать скорость распыления с единицы поверхности в сегмен
те делением Л/ 1о1на Af; .
А.6.3 Расчете использованием средней плотности
Для каждого сегмента глубины профиля рассчитывают атомную долюдля каждого элемента г по
уравнению
(с.м/’ио)
1<с1М//и-,)’
(
(А.31)
где wt— атомный вес элемента L
Для каждого сегментаj глубины профиля рассчитывают плотность по уравнению
Р; = 5>0 Рг-
(А.32)
Для каждого сегмента / глубины профиля рассчитывают толщину z. по уравнению (А.30). Общую глубину
рассчитывают суммированием z. по /
18