ГОСТ РИСО 16962—2012
лем. Если нет рекомендованных значений, устанавливают значение напряжениядо 700 В и значение тока:
от 5 до 10 мА — для анода размером 2 или 2,5 мм: от 15до 30 мА — для анода размером 4 мм; от 40 до 100
мА — для анода размером 7 или 8 мм. Когда неизвестны значения оптимальных значении тока,
рекомендуется начинать со значения, близкого к середине рекомендуемого диапазона.
Устанавливают высокое напряжение на детекторах, как указано в 6.2.4.
Настраивают параметры разряда всоответствии с 6.2.5. регулируя сначала ток и при необходимости
напряжение.
Проводятоптимизацию формы кратера в соответствии с 6.2.6 путем регулирования напряжения. Выб
ранные условия для управляющих параметров затем используют как при градуировке, так и при проведе
нии анализа.
6.2.2.3 Режим постоянных значений тока и давлония
В качестве двух управляющих параметров применяют ток и давление рабочего газа в лампе. Уста
навливают уровень мощности для источника тлеющего разряда, чтобы поддерживать режим постоянного
значения тока, при этом устанавливают те значения тока, которые рекомендованы производителем. Если
рекомендованные значения не подходят, устанавливают значения тока: от 5до 10 мА— для анодадиамет
ром 2 или 2,5 мм; от 15 до 30 мА— для анодадиаметром 4 мм или от40 до 100 мА — для анода диаметром 7
или 8 мм. Когда неизвестны оптимальные значения тока, рекомендуется начинать со знамения, близкого к
середине рекомендуемого диапазона. Распыляют типичное покрытие на пробном образце и регулируют
давление, изменяя напряжение, пока не достигнут значения, равного приблизительно 600 Вдля данного
покрытия.
Устанавливают высокое напряжение на детекторах, как описано в 6.2.4.
Настраивают управляющие параметры разряда в соответствии с 6.2.5, сначала регулируя ток и при
необходимости давление.
Проводят оптимизацию формы кратера, как описано в6.2.6, путем регулирования давления. Перед
распылением покрытия на образце нового типа делают пробный запуск в целях проверки того, что напряже
ние не изменяется более чем на 5 % по сравнению с ранее выбранным значением. Если это происходит,
регулируютдавление додостижения правильного значения. Выбранные условия для управляющих пара
метров затем используют как при градуировке, так и при проведении анализа.
Интенсивность излучения меняется в зависимости от значения тока, напряжения и. возможно, давле
ния [4]. Поэтому очень важно, чтобы эти параметры поддерживалиськак можно более точно на одном и том
же уровне как в процессе анализа образцов с покрытием, так и при градуировке. Так как
практически невозможно поддерживать все три параметра постоянными для всех образцов, впервую
очередь необхо димо поддерживать постоянными значения тока и напряжения, оставляя давление
переменным парамет ром. Существует методдля коррекции напряжения и тока, применяя вариации с
использованием эмпири ческой производной функции [4], этот тип коррекции часто реализуется в
программном обеспечении спект рометра. основанном на методе нормализации интенсивности
всоответствии с уравнением (А.2) приложе ния А. Однако такие корректировки напряжения и тока не
включены вэтотстандартный метод. При наличии в спектрометре программного обеспечения
пользовательдолжен убедиться, что корректировки напряже ние — токотключены в целях правильной
реализации метода наэтом приборе.
6.2.3 Настройка параметров разряда радиочастотного источника
6.2.3.1 Общие требования
В настоящее время большинство радиочастотных (РЧ) источников работает с постоянной подводи
мой мощностью и постоянным давлением. Другие режимы работы также существуют, например постоян
ное напряжение и давление и постоянная эффективная мощность и напряжение. Эти режимы, вероятно,
станут более распространенными в будущем. Все РЧ режимы работы допускаются в настоящем стандар
те, если они обеспечивают условия, перечисленные в 6.2.1. Ниже представлены отдельные
рекомендации, рассматривающие как в процессе работы управляющие параметры используются для
различных режи мов. действующих на регулярной основе.
6.2.3.2 Режим постоянных значений мощности и давления
В качестве управляющих параметров используют мощность и давление рабочего газа в лампе. На
чинают сустановления значений мощности и давления, которые предложены производителем. Если реко
мендованные значения не подходят, применяют набор значений мощности и давления, близкий к середине
диапазона, обычно используемогодля профилирования глубины кратера металлических образцов. Изме
ряют скорость углубления (т.е. значение глубины в единицу времени) на образце чугуна или стали. Регули
руют мощность, устанавливая скорость углубления (пенетрации) приблизительно от 2 до 3 мкм/мин.
5