ГОСТ РИСО 16962—2012
как скорость распыления образца, деленного на скорость распыления образца сравнения, распыляемого
при тех же самых условиях. Если площади, с которых произошло распыление, для анализируемого образ ца
и образца сравнении одинаковы, тогда относительная скорость распыления эквивалентна относительной
схорости распыления на единицу площади поверхности. Методика определения скорости распыления сле
дующая (скорость распыления может быть также оценена производителем):
a) если лаборатория располагает соответствующим оборудованием, измеряют плотностькаждого гра
дуировочного образца. Приемлемый для этой цели способдля определения плотности однородныхобраз
цов — это деление массы образцов на объем, когда объем образца измеряют погружением его в воду,
используя принцип закона Архимеда. Альтернативно объем образца может быть оценен путем измерения его
размеров, или плотность может быть рассчитана из химического состава, как описано в приложении А
(уравнение (А.29)]. Точность измеренной или рассчитанной плотности должна быть не менее 5 %;
b
) подготовку поверхности образца проводят всоответствии с рекомендациями производителя прибо
ра или по другой подходящей методике;
c)управляющие параметры тлеющего разряда настраивают по 6.2:
d) распыляют образец в течение времени, установленного по результатам образования кратера трав
ления глубиной от 20 до 40 мкм. регистрируя общее время распыления.
e) повторяют процедуру по перечислению d) несколько раз. если площадь поверхности образца дос
таточно большая, регистрируя общее время распыления для каждого кратера;
f) измеряют среднюю глубину каждого кратера оптическим или механическим профилометром, изме
ряя не менее чем четыре профиля, в разных направлениях, пересекающих центр кратера;
д) для абсолютныхскоростей распыления:
1) измеряют площадь не менее одного кратера;
2) рассчитывают распыленный объем каждого кратера умножением площади распыления на
среднюю глубину распыления:
3) рассчитывают распыленную массу умножением распыленного объема на плотность образца:
4) рассчитывают скорость распылениядля каждого кратера травления как потерю массы, делен
ную на общее время распыления;
5) рассчитывают среднюю схорость распыления и стандартное отклонение из измерений кахадого
кратера;
h)для относительных скоростей распыления:
1) рассчитывают распыленную массу на единицу площади поверхности для каждого кратера умно
жением распыленной глубины (кратера) на плотность образца,
2) рассчитываютскорость распыления на единицу площади поверхности для каждого кратера как
распыленную массу на единице площади, деленную на общее время распыления:
3) выбирают образец сравнения (рекомендуется железо или низколегированная сталь) и измеряют
среднюю скорость распыления на единицу площади для этих образцов, как описано выше для
градуировочныхобразцов;
4) рассчитывают относительную схорость распыления для каждого кратера травления как ско
рость распыления на единицу площади, деленную на среднюю скорость распыления единицы
площади стандартного образца;
5) рассчитывают среднююотносительнуюскорость распыления и стандартное отклонение измере
ний каждого кратера.
Профилометр, используемый для градуировки глубины (кратера), должен иметь точность
не менее 5 %.
П р и м е ч а н и е — Распыленную массу можно также определить взвешиванием образцов до и после
распыления. Однако это требует использования весов высокой точности и неопределенность в таких измерени ях
уступает неопределенности измерений глубины кратера.
6.3.5 Измерение интенсивности излучения градуировочных образцов
Измерение интенсивности излучения градуировочных образцов проводят следующим образом:
а)подготовку поверхности градуировочных образцов проводят всоответствии с инструкциями изгото
вителя приборов. Если такие инструкции отсутствуют, можно использовать абразивную бумагу зернистос
тью 220. какправило, этогодостаточнодля любого монолитного образца. Однако можно применить и влаж
ную шлифовку, после чего влажныо образцы следует высушить, тщательно промыв их спиртом, а затем
удалив растворитель потоком инертного газа, таким как аргон или азот. Следует соблюдать осторожность и
не прикасаться к поверхности образца трубкой подачи газа;
9