ГОСТ РИСО 16962—2012
qIBl — скорость распыления, выраженная как скорость потери массы на единицу площади в образце сравне
ния;
RUi — преобразованное (инверсное) значение выхода эмиссии элемента i на спектральной линии X(приме
чание 1):
J/x — интенсивность спектральной линии X элемента г,
В, — значение интенсивности спектрального фона на длине волны X, % масс. ( можно трактовать как
постоянную величину или как некоторую комплексную функцию, данную в единицах массовой доли,
предложенную производителем);
Sjirei — приведенное значение интенсивности спектрального фона на длине волны X. которое представлено в
уравнении (А.2). в единицах массовой доли, часто понимают как «фон эквивалентной концентрации» и
трактуют как константу или функцию, предложенную производителем (см. также примечание 2):
q,olfqu равен 1f[qu lqlat) — поправочный коэффициент скорости распыления.
Приме чание 1— Ryi) — преобразованное значение выхода эмиссии элемента i на спектральной линии
X. связанное с величиной эмиссии R2l* уравнением
*.,x=1/(9for*2.x).<А.З)
где значение выхода эмиссии определяется как
^ х = (/а-ЬхУ(с««7м).(А4)
где Ьу— значение интенсивности спектрального фона на длине волны X.
П р и м е ч а н и е 2 — Два обозначения спектрального фона соотносятся как
B.tti = (Як*1<7u)В,_.(А.5)
Уравнения (А.1) и (А.2) можно преобразовать в нелинейные градуировочные зависимости с учетом
поправок второго и более высокого порядка. Иллюстрацией таких нелинейных градуировочных зависимостей
(А.1) и (А.2 )являются соответственно:
с.м(qM I Фв|)= Я«<х’Ах+ Six’/**2- By(А.6)
и
с,м=Rui’lii. (Qrat1Яи) * 8ik’lik(<htlQu) - В>м-(А.7)
j
где S
x
— это поправочный коэффициент, учитывающий степень нелинейности.
Настоящие градуировочные зависимости были получены регрессионным анализом градуировочных дан
ных с использованием метода наименьших квадратов.
Параметр qt e представляющий собой скорость распыления с единицы площади, часто используют для
таких материалов, как низколегированная сталь. Замечено, что для некоторых градуировочных образцов на
основе стали относительные скорости распыления и поправочные коэффициенты для скорости
распыления приближаются к единице и не чувствительны к условиям в разряде плазмы.
П р и м е ч а н и е 3 — Значения спектрального фона в уравнениях (А.1) и (А.2) не являются постоянными,
а в той или иной степени зависят от матрицы, как было приведено в 4.2.3.1 настоящего стандарта. В практической
работе всегда предпочтительнее выбирать наименьшее значение измеренной интенсивности, как фиксирован
ный спектральный фон для каждой спектральной линии.
П р и м е ч а н и е 4 — Все имеющиеся в распоряжении коммерческие приборы, произведенные в
последнее время, позволяют проводить коррекцию фона и учитывать межэлементные влияния.
А.З Расчет градуировочных зависимостей с использованием абсолютных скоростей распыления
Градуировочную зависимость определяют одним из следующих уравнений:
см’Яи - Яьх-Ах _ В’х
(А.8)
с.м=Я’ттх’АхIq’u - б’хго),
(А.9)
где см — массовая доля элемента гв образце М,
Я’и — скорость распыления, выраженная как скорость потери массы в образце М.
Ящ — преобразованное (инверсное) значение выхода эмиссии элемента / для спектральной линии X (приме
чание 1);
Ах — интенсивность спектральной линии X элемента /;
В\ — значение интенсивности спектрального фона на длине волны X. % масс., умноженное на скорость рас
пыления (можно трактовать как постоянную величину или некоторую комплексную функцию, данную
в единицах массовой доли, ухтноженную на скорость распыления, предложенную производителем при
бора);
S’xfoi— приведенное значение спектрального фона на длине волны X, % масс., умноженное на скорость распы
ления. которое дано в уравнении (А.9).
15