ГОСТ Р И С 016962—2012
С.3.2 Расчет глубины профиля вединицах массовой доли относительно глубины
Эта процедура предназначена для использования в тех случаях, когда изготовитель прибора устанавливает
программное обеспечение для автоматического расчета массы Fe на единицу площади покрытия, с учетом глуби ны
профиля, выраженной по ординате в единицах массовой доли и по абсциссе — в единицах глубины (обычно в
микрометрах) (рисунок С.З). Пример приведен для гальванического цинкового покрытия и включает следующие
действия.
X — глубина, мим. У — массовая доля аналита. % : W — ширина переходной зоны. I -- глубина, соответствующая
50%-ному содержанию цинка плюс ширина переходной зоны. S — глубина при которой массовые доли Zn и Fe одинаковые
Рисунок С.З — Количественная глубина профиля, выраженная в массовых долях аналита относительно
глубины, иллюстрирующая способ 2 для гальванического цинкового покрытия
Находят толщину, при которой массовая доля Zn снижается до 84 % и 16 % от максимальной массовой
доли Zn в покрытии, также фиксируют толщину, на которой она составляет 50 % максимального значения. Обо
значают эти толщины как 84 % Zn. 16 % Zn и 50 %Zn соответственно.
Определяют ширину поверхности раздела W. как разность по абсциссе между точками 16 % Zn и 84 % Zn .
Определяют глубину L как точку на абсциссе, соответствующую 50 %Zn по ординате плюс ширина поверх ности
раздела W. Рассчитывают массы покрытия на единицу площади от глубины, равной нулю до глубины L для
всех легирующих компонентов, кроме Fe.
Определяют глубину S. как глубину, на которой массовые долмZn и Fe равны. Рассчитывают общую массу на
единицу площади для Fe в покрытии по глубине от нуля до глубины S.
Рассчитывают массу Zn в покрытии на единицу площади от глубины S до глубины L. Используя симметрию
и отношение масс, преобразуют массу цинка на единицу площади покрытия со стороны подложки на глубине S в
эквивалентную массу железа (а •Zn0I sдоt) на единицу площади покрытия со стороны подложки на глубине S.
Массу Fe в покрытии на единицу площади, r/м2. рассчитывают вычитанием эквивалентной массы Fe на
единицу площади покрытия из общей массы Fe в покрытии
Гв(мдсся на единиц плочДО поаоития) = Г®
<n
0
aoS~
(® ’ 2 п от s до t),(С-2)
где а = атомный вес Fe/атомный вес Zn = 55.847/65.37=0.854.
22