ГОСТ Р М ЭК 748-11-1-2001
слой пассивации, а ширима дорожки металлизации, соединяющей контакт с металлизацией межсо
единений, уменьшается более чем на 50
%
самой узкой части входящей полосы металлизации
межсоединений. Если в контактную площадку входят две или более полосы, каждую из них следует
рассматривать отдельно;
8)царапины (метки от зонда и т.д.) в зоне контактной площадки, при которых лежащий ниже
слой пассивации обнажается более чем на 25
%
поверхности первоначальной непассивироваиной
стеклом металлизации.
3.2.1.2 Пустоты в металлизации:
1) пустоты в металлизации, при которых остается неповрежденной менее 50
%
первоначальной
ширины металла (см. рисунок 4).
П р и м е ч а н и е — Критерий может быть исключен для периферийной металлизации питания и
заземления, где дорожки располагаются параллельно, так что наличие пустоты (пустот) нс вызывает нежела
тельной изоляции дорожки металлизации. Если исключение данного критерия вызывает или допускает при
проектировании прибора превышение ограничения плотности тока, оговоренного в конструкторской докумен
тации, исключение данного критерия не допускается. Плотность тока должна определяться конструкцией, но нс
визуальным контролем;
2) пустоты в металлизации на этапе пассивации стеклом, при которых остается неповрежден
ной менее 75
%
первоначальной ширины металла на данном этапе.
Г1 р и м е ч а н и е — Критерии по перечислениям 1) или 2) могут быть исключены для последних 25 %
линейной длины контактного окна и для всего металла дорожки металлизации, выходящею за пределы конца
вывода. В этих случаях металлизацией должно быть покрыто нс менее 50
%
поверхности контактной зоны; не менее
40
%
периметра контактною окна должно быть покрыто сплошной неповрежденной металлизацией (см. рисунок 3);
3) пустоты в металлизации оксидного моста затвора, оставляющие неповрежденной менее 75
%
длины металлизации
L
между диффузионными областями истока и стока (см. рисунок 2), —для
МОП-структур;
4) пустоты, оставляющие неповрежденной менее 60
%
поверхности металлизации оксидного
моста затвора. —для МОП-структур;
5) пустоты, оставляющие неповрежденной менее 75 % ширины металлизации, совпадаю
щей с линией перехода диффузионных областей истока или стока (см. рисунок 2). —для
МОП-структур;
6) пустоты в области контактной площадки, оставляющие неповрежденной менее 75
%
по
верхности первоначальной не пассивированной стеклом металлизации;
7) пустоты на контактной площадке или кромке, которые приводят к уменьшению ширины
дорожки металлизации, обеспечивающей соединение с этой контактной площадкой, более чем на 50
%
от ширины самой узкой части входящей полосы металлизации межсоединений (см. рисунок 5).
П р и м е ч а н и е — Если в контактную площадку входят две или более полосы, каждую из них следует
рассматривать отдельно;
8) пустоты в металлизации тонкопленочного конденсатора, сокращающие поверхность метал
лизации более чем на 25
%.
3.2.1.3 Коррозия металлизации;
- любая коррозия металлизации.
3.2.1.4 Прилипание металлизации;
- любое вспучивание, отслаивание или вздутие металлизации.
3.2.1.5 Зондирование металлизации:
- для определения повреждений от зондирования следует применять критерии по 3.2.1.1.
3.2.1.6 Перемычки металлизации:
- любые перемычки металлизации, когда расстояние между двумя дорожками металлизации
уменьшается до 2,5 мкм и менее, за исключением случаев, предусмотренных конструкцией.
3.2.1.7 Выравнивание металлизации:
1) контактное окно, менее 50
%
поверхности которого покрыто металлизацией;
2) контактное окно, менее 40
%
периметра которого покрыто металлизацией.
П р и м е ч а н и е — Если в соответствии с конструкцией металл полностью покрывает контактное
окно, критерии по перечислениям 1) или 2) могут быть исключены при условии выполнения требований
конструкции;
5