ГОСТ Р М ЭК 748-11-1—2001
используемых частях пленочного резистора. Следует применять критерии по 3.2.1 для дефектен
металлизации.
Прибор считают непригодным, если в нем имеются:
1) любая несогласованность между проводником и резистором, при которой действительная
ширина перекрытия менее 50
%
первоначальной ширины резистора (см. рисунок 15);
2) контактное перекрытие между металлизацией и пленочным резистором, при котором длина
этого перекрытия менее 6 мкм (см. рисунок 15);
3) расстояние междудвумя резисторами или между резистором и полосой металлизации менее
2,5 мкм. за исключением случаев, предусмотренных конструкцией:
4) пустота или сужение, оставляющие неповрежденной менее 75 % ширины пленочного
резистора на выводе;
5) любое резкое изменение цвета материала резистора на расстоянии не более 2,5 мкм от
перехода резистор/проводник;
6) неактивный резистор, ошибочно подсоединенный к двум отдельным точкам активной
схемы;
7) любой тонкопленочный резистор, пересекающий неоднородную часть подложки (например,
линию диэлектрической изоляции, зону оксида или диффузии и т.д.) (см. рисунок 14);
8) любой резистор, ширина которого менее 6 мкм или половины наименьшей ширины
(выбирают большее значение), что является результатом пустот, царапин или их комбинаций (см.
рисунок 16).
3.2.10 Тонкопленочные резисторы с лазерной подгонкой, большое увеличение
Критерием для забракования должно быть наличие дефектов, обнаруженных в активно
используемых частях пленочного резистора.
Прибор считают непригодным, если в нем имеются:
1) выемка шириной менее 2,5 мкм.
П р и м е ч а н и е — Данное требование не применимо к подгонке края;
2) выемка, содержащая частицы сколов;
3) выемка, содержащая не подвергшийся подгонке материал резистора, если этот материал не
проходит через выемку сплошным слоем и ширина его неповрежденного слоя превышает половину
наименьшей ширины резистора или 6 мкм (выбирают большее значение) (см. рисунок 17);
4) резистор, ширина которогосокращена при подгонке и составляет менее половины наимень
шей ширины резистора или 6 мкм (выбирают большее значение), включая пустоты, царапины шли
их комбинацию в зоне подгонки (см. рисунки 16 и 18);
5) полоса подгонки заходит на металлизацию, исключение составляют блок-резисторы.
П р и м е ч а н и е — Проводники или резисторы могут подгоняться в разомкнутом состоянии для
изменения связей или если это предусмотрено конструкцией;
6) подгонка блок-резисторов, заходящая на металлизацию (за исключением контактных пло
щадок) более чем на 25
%
первоначальной ширины металла (см. рисунок 19);
7) углубления в выемке ло слоя двуокиси кремния, где не просматривается граница между
углублением и материалом резистора.
3.3 Заданные условия
При необходимости в применяемых ТУ на изделия конкретных типов должны быть приведены
следующие данные:
1) любые отличия от аттестованной схемы, ее конструкции, топологии или проекта;
2) калибры, чертежи и фотографии, которые должны использоваться оператором в качестве
эталонов для сравнения (см. раздел 2 настоящего стандарта);
3) заданное увеличение (см. 3.1.5 настоящего стандарта).
10