ГОСТ Р М ЭК 748-11-1-2001
П р и м е ч а н и е - При применении стандартных требований при наличии
царапин и пустот в металлизации в зоне затвора размеры
w
и
L
считаются первоначальными размерами - ширина и длина канала соответственно
7
в
1
—исток;
2 — оксидные мост затвора;
J — сток;
4 — саиосовмеш еииый дат пор.
5 — месамосовмсшснмый затвор:
6 — царапина, обнажающая лежащий ниже слой оксида; ш ирина оставшегося неповрежденным и Сталла (д) менее L/2 (50 % I
— прибор непригоден;
7 — царапина, обнажающая лежащ ий ниже слой оксида, ширина оставшегося неповрежденным металла <д) менее W/2 (50 % (
— прибор непригоден:
Я — пустота, обнажающая лежашнп ниже слой оксида: ширина оставшегося неповрежденным металла <л| менее J/4 £ (75 “? |
— прибор непригоден;
9 — пустота, обмажаюшаи лежаш ий ниже Слой оксида: ширина оставшегося неповрежденным металла (л) менее ’/» IV (75 % \
—прибор непригоден;
10 — металл татпора
Рисунок 2 — Критерии для МОП-приборои. имеющих царапины и пустоты
12