ГОСТ Р М ЭК 748-11-1-2001
! — исток:
2 —
сток;
3 — металлизации за:пора выходит за пределы оксидною моста затвора На расстояние нс менее 2.5 мкм или 0.25 L Iвыбирают
меньшее тналение) - прибор пригоден:
4 — оксидный мост затвора, открытый от истока до стока — прибор непригоден;
5 — линия зоны оксида:
й — металл затвора (самосовмеш енною);
7 — металл затвора <несамосовмешенио|ч>);
S — затвор совмещен с охранным кольцом — прибор нриюден:
9 - затвор не совмещен с охранным кольцом или не выступает за него - прибор непригоден:
10— охранное колыю;
/ / - металл затвора
Рисунок 6 — Совмещение затвора МОП-структур
15