ГОСТ Р М ЭК 748-11-1-2001
Требования визуального контроля применимы к технологиям с шириной линии не менее
2 мкм.
3.1.2 Последовательность контроля
Порядок, в котором представлены критерии визуального контроля, не является требуемым
порядком его проведения и может меняться по усмотрению изготовителя. Проверку на соответствие
требованиям критериев визуального контроля, указанных в 3.2.1.2, 3.2.1.5, 3.2.1.7. 3.2.2; 3.2.7,
перечисления 5) и 6): 3.2.8; 3.2.9. перечисления I), 2) и 4), можно проводить до крепления кристалла
без повторного осмотра после крепления. Проверку на соответствие требованиям критериев визу
ального контроля, приведенных в 3.2.6.2 и 3.2.6.3, можно проводить до сварки без повторной
проверки после нее. Проверку на соответствие требованиям визуального контроля, приведенных в
3.2.1.1 и 3.2.3, можно проводить до крепления кристалла при большом увеличении, а при условии
повторного осмотра после крепления кристалла —при малом увеличении. При использовании
метода перевернутого кристалла при монтаже проверка на соответствие требованиям визуального
контроля, упомянутым выше, которая может быть проведена после монтажа, должна быть проведена
до крепления кристалла. Приборы, не отвечающие какому-либо из приведенных критериев
испы тания, считаются дефектными. Они должны быть забракованы и изъяты в процессе
контроля.
3.1.3 Класс чистоты воздуха
В настоящем стандарте описываются два класса чистоты воздуха: 3,5 и 3500.
Классификация основана на подсчете наединицу объема максимальнодопустимого количества
частиц размером 0,5 мкм и более или частиц размером 5,0 мкм и более.
Размер частицы определяется либо максимальным линейным видимым размером частицы,
либо ее диаметром.
Для подсчета частиц следует применять один из приведенных ниже методов:
1) для частиц размером 0,5 мкм и более следует использовать оборудование с источником
рассеиваемого света;
2) для частиц размером 5.0 мкм и более может использоваться метод подсчета с помощью
микроскопа, когда частицы собираются на мембранном фильтре, через который берут пробу воздуха;
3) другие методы и оборудование могут использоваться лишь в том случае, если они обеспе
чивают точность и повторяемость не хуже тех. которые дают приведенные выше методы.
Методы с использованием микроскопа вручную пригодны для контроля воздуха класса 3500.
Подсчет частиц следует проводить через заданные интервалы времени в течение периодов активной
работы в том месте, где количество частиц в воздухе приблизительно равно количеству частиц в
воздухе на рабочем месте. Предпочтительно проводить подсчет частиц на высоте рабочего уровня с
помошыо специального зонда, направленного на поток воздуха.
3.1.3.1 Класс 3,5
Количество частиц на литр не должно превышать 3,5 частиц размером 0.5 мкм и более или
0,35 частиц размером 5 мкм и более.
3.1.3.2 Класс 3500
Количество части на литр не должно превышать 3500 частиц размером 0.5 мкм и более зон
25 частиц размером 5 мкм и более.
3.1.4 Процедура технического осмотра
Во всех случаях до окончательного контроля перед герметизацией следует проводить техничес
кий осмотр, осуществляемый по той же программе аттестации качества, которая требуется для
окончательного контроля перед герметизацией. После контроля по 3.1.2 в процессе
окончательного контроля перед герметизацией необходимо обеспечить обнаружение и изъятие
приборов с дефекта ми, возникшими в результате манипуляций с этими приборами. После
визуального контроля до подготовки к герметизации приборы все время должны находиться в
контролируемых условиях окружающей среды.
3.1.5 Увеличение
Контроль при большом увеличении должен осуществляться в плоскости, перпендикулярной к
поверхности кристалла, при нормальном падении света. Контроль при малом увеличении должен
осуществляться с помошыо монокулярного, бинокулярного или стереоскопического микроскопа
под любым углом при соответствующем освещении прибора. Контроль на соответствие требованиям
критериев, приведенных в 3.2.4 и 3.2.6.1, может, по желанию изготовителя, осушестатяться при
большом увеличении.
3.1.6 Определения (только для контроля)
1активная область схемы: Включает все виды функциональных элементов схемы, функцио
нальную металлизацию или любые взаимные сочетания, за исключением балочных выводов.
•>