ГОСТ Р М ЭК 748-11-1-2001
/ — перекрыты несколько лиффутионных областей - прибор непригоден;
2 — сдой диффузии рлепо.южен ближе чем на расстоянии 2.S мкм от смежной области — прибор непригоден,
3 — икры то контактное окно - прибор непригоден:
4 — моиокристалиический кремний.
5 — прерывается линия нполиции — прибор непригоден;
6 — линия диэлектрической изоляции:
7 — диэлектрический материал выступает под тонкопленочным реаистором - прибор испрнголен
Рисунок 14.лист 2
/ ~ проводник;
2 — резистор;
3 — х < d/2 - прибор непригоден;
4 — у к 6 мкм — прибор непригоден;
5 — поверхность перекрытии проводник/рсзистор:
6 — расположение контактной площадки резистора;
7 —
1
ранни.! проводннк/ретисгор;
5 — у £ 6 мкм - прибор пригоден:
9 - х 2 d/2 - прибор пригоден
Iгде г/ - первоначальная ширина резистора;
х — ш ирина перекрытия проводиик/резистор;
Г — длина перекрытия прополиик/ретистор)
Рисунок 15 — Контактная поверхность тонкопленочного резистора
22